谐振式压力传感器振动特性分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·谐振式压力传感器概述 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·本文研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 谐振梁线性自由振动分析 | 第17-38页 |
| ·谐振梁动力学模型建立 | 第17-19页 |
| ·两端固支谐振梁自由振动 | 第19-21页 |
| ·弹性支撑谐振梁自由振动 | 第21-23页 |
| ·两端固支谐振梁结果分析 | 第23-28页 |
| ·无轴向力谐振梁自由振动 | 第23-25页 |
| ·受轴向力谐振梁自由振动 | 第25-28页 |
| ·弹性支撑谐振梁结果分析 | 第28-37页 |
| ·无轴向力谐振梁自由振动 | 第28-29页 |
| ·受轴向力谐振梁自由振动 | 第29-31页 |
| ·系统参数对固有频率的影响 | 第31-34页 |
| ·轴向力对系统固有频率的影响 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 谐振梁机电耦合振动分析 | 第38-55页 |
| ·静电力分析 | 第38-40页 |
| ·静态位移求解 | 第40-41页 |
| ·谐振梁机电耦合自由振动 | 第41-43页 |
| ·谐振梁机电耦合受迫振动 | 第43-44页 |
| ·考虑阻尼的谐振梁共振 | 第44-46页 |
| ·结果分析 | 第46-54页 |
| ·静态位移 | 第46-47页 |
| ·谐振梁自由振动频率 | 第47-48页 |
| ·谐振梁自由振动模态 | 第48-49页 |
| ·受迫振动时域动态响应 | 第49-52页 |
| ·考虑阻尼的共振分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 谐振式压力传感器敏感性分析 | 第55-73页 |
| ·灵敏度近似计算方法 | 第55-60页 |
| ·压力膜弯曲 | 第55-57页 |
| ·灵敏度分析 | 第57-58页 |
| ·灵敏度影响因素分析 | 第58-60页 |
| ·不同结构谐振式压力传感器 | 第60-65页 |
| ·固支结构 | 第60-62页 |
| ·跳板结构 | 第62-63页 |
| ·半岛结构 | 第63-65页 |
| ·改进的灵敏度计算方法 | 第65-71页 |
| ·半岛结构压力应力关系分析 | 第65-66页 |
| ·灵敏度解析式的推导 | 第66-71页 |
| ·两种方法的比较 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 谐振梁机电耦合非线性动力学分析 | 第73-93页 |
| ·谐振梁静电力非线性自由振动分析 | 第73-77页 |
| ·非线性电场力 | 第73-74页 |
| ·非线性动力学方程 | 第74-75页 |
| ·广义时间函数及幅频响应特性 | 第75-77页 |
| ·接近共振时谐振梁静电力非线性受迫振动分析 | 第77-82页 |
| ·谐振梁轴向力非线性自由振动分析 | 第82-85页 |
| ·结果分析 | 第85-92页 |
| ·谐振梁静电力非线性自由振动分析 | 第85-88页 |
| ·接近共振时谐振梁静电力非线性受迫振动分析 | 第88-90页 |
| ·谐振梁轴向力非线性自由振动分析 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 结论 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-97页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 作者简介 | 第99页 |
