| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-29页 |
| 1．1 红外探测器 | 第8-9页 |
| 1．2 热电堆探测器 | 第9-12页 |
| 1．2．1 塞贝克效应 | 第9-10页 |
| 1．2．2 热电堆探测器的性能参数 | 第10-12页 |
| 1．2．3 热电堆探测器的特点 | 第12页 |
| 1．3 微机械热电堆探测器 | 第12-16页 |
| 1．3．1 MEMS | 第13-15页 |
| 1．3．2 基于微机械热电堆的传感器 | 第15-16页 |
| 1．4 微机械热电堆红外探测器 | 第16-24页 |
| 1．4．1 微机械热电堆红外探测器的结构 | 第16-18页 |
| 1．4．2 微机械热电堆红外探测器的发展 | 第18-22页 |
| 1．4．3 微机械热电堆红外探测器的应用 | 第22-24页 |
| 1．5 本论文的研究内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 第二章 微机械热电堆红外探测器基础与设计 | 第29-62页 |
| 2．1 微机械热电堆红外探测器的工作原理 | 第29-30页 |
| 2．2 优值Z（Figure of Merit） | 第30-31页 |
| 2．3 微机械热电堆红外探测器的性能 | 第31-34页 |
| 2．4 微机械热电堆红外探测器的结构与性能的关系 | 第34-40页 |
| 2．4．1 微机械热电堆红外探测器的膜结构 | 第34-38页 |
| 2．4．2 热偶的尺寸与探测器性能的关系 | 第38-40页 |
| 2．5 微机械热电堆红外探测器的设计 | 第40-59页 |
| 2．5．1 悬臂梁结构的微机械热电堆红外探测器 | 第40-50页 |
| 2．5．2 悬臂梁结构的微机械热电堆红外探测器 | 第50-58页 |
| 2．5．3 悬臂梁结构与封闭膜结构的微机械热电堆红外探测器的比较 | 第58-59页 |
| 2．6 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第三章 悬臂梁结构的单元微机械热电堆红外探测器 | 第62-73页 |
| 3．1 悬臂梁结构微机械热电堆红外探测器的设计 | 第62-63页 |
| 3．2 正面腐蚀工艺 | 第63-64页 |
| 3．3 制备工艺 | 第64-66页 |
| 3．4 结果与讨论 | 第66-71页 |
| 3．4．1 形成介质支撑膜的腐蚀 | 第66-68页 |
| 3．4．2 脱水处理 | 第68-69页 |
| 3．4．3 台阶覆盖 | 第69-71页 |
| 3．5 本章小结 | 第71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第四章 封闭膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列 | 第73-85页 |
| 4．1 封闭膜结构微机械热电堆红外探测器阵列的结构 | 第73-74页 |
| 4．2 制备工艺 | 第74-75页 |
| 4．3 封装 | 第75页 |
| 4．4 结果与讨论 | 第75-84页 |
| 4．4．1 蒸发工艺 | 第78-79页 |
| 4．4．2 电镀镍 | 第79-84页 |
| 4．5 本章小结 | 第84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 第五章 硅铝热偶基单元封闭膜结构微机械热电堆红外探测器 | 第85-95页 |
| 5．1 硅铝热偶基单元封闭膜结构微机械热电堆红外探测器的结构 | 第85页 |
| 5．2 铝的腐蚀防护 | 第85-88页 |
| 5．3 红外吸收层及其制作 | 第88-90页 |
| 5．3．1 金属薄膜红外吸收层 | 第88页 |
| 5．3．2 电镀 | 第88-89页 |
| 5．3．3 惰性气氛下沉积金属 | 第89页 |
| 5．3．4 其它 | 第89页 |
| 5．3．5 本论文的尝试 | 第89-90页 |
| 5．4 制备工艺 | 第90-93页 |
| 5．5 实验结果 | 第93页 |
| 5．6 本章小结 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-95页 |
| 第六章 微机械热电堆红外探测器的测试 | 第95-105页 |
| 6．1 微机械热电堆红外探测器的测试系统 | 第95-98页 |
| 6．2 测试原理 | 第98-101页 |
| 6．2．1 直接测量方法 | 第98-100页 |
| 6．2．2 对比测量方法 | 第100-101页 |
| 6．3 测试结果 | 第101-104页 |
| 6．3．1 未加红外吸收层的测试结果 | 第102-103页 |
| 6．3．2 加红外吸收层的测试结果 | 第103-104页 |
| 6．4 本章小结 | 第104页 |
| 参考文献 | 第104-105页 |
| 第七章 总结 | 第105-107页 |
| 攻博期间发表的论文与成果清单 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
