基于纳米压印技术的悬浮阵列生物芯片的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·MEMS | 第8-10页 |
| ·MEMS 概念及特点 | 第8-9页 |
| ·MEMS 的应用及市场化 | 第9-10页 |
| ·生物芯片 | 第10-11页 |
| ·悬浮阵列技术 | 第11页 |
| ·纳米压印技术 | 第11-14页 |
| ·传统光刻技术 | 第12-13页 |
| ·下一代光刻技术 | 第13页 |
| ·纳米压印技术 | 第13-14页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第14-16页 |
| ·选题依据 | 第14-15页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 微流控技术与芯片 | 第16-27页 |
| ·微流控技术 | 第16页 |
| ·微流控芯片 | 第16-18页 |
| ·微流控芯片的概念 | 第17页 |
| ·微流控芯片的工作过程 | 第17-18页 |
| ·微流控芯片的特点 | 第18页 |
| ·微流控芯片的制作 | 第18-19页 |
| ·器件衬底材料的选择 | 第19-23页 |
| ·传统衬底材料 | 第19-20页 |
| ·传统透明材料 | 第20-21页 |
| ·透明试验衬底材料 | 第21-23页 |
| ·微流动层材料的选择 | 第23-26页 |
| ·环氧树脂类负性光刻胶（SU-8） | 第24页 |
| ·聚二甲基硅氧烷（PDMS） | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于微球的悬浮阵列技术 | 第27-59页 |
| ·生物芯片技术要点及分类 | 第27-31页 |
| ·固相阵列生物芯片及其局限性 | 第29-31页 |
| ·悬浮阵列生物芯片 | 第31页 |
| ·悬浮阵列检测原理 | 第31-37页 |
| ·微球载体结构及标记 | 第32-33页 |
| ·悬浮阵列检测流程 | 第33-36页 |
| ·悬浮阵列技术特点 | 第36-37页 |
| ·微球制备 | 第37页 |
| ·微球的荧光编码 | 第37-42页 |
| ·基于有机染料的荧光编码 | 第38-39页 |
| ·基于纳米量子点的荧光编码 | 第39-40页 |
| ·硒货镉量子点制作及荧光实验 | 第40-42页 |
| ·微球的单通及鞘流系统 | 第42-46页 |
| ·流式细胞仪 | 第42-43页 |
| ·鞘流微流动室 | 第43-46页 |
| ·动电聚焦仿真实验 | 第46-58页 |
| ·仿真建模 | 第46-50页 |
| ·仿真结果 | 第50-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 基于微块的悬浮阵列技术 | 第59-73页 |
| ·微块的结构 | 第59-61页 |
| ·微块的阵列化 | 第61-62页 |
| ·微块与微球的对比 | 第62-63页 |
| ·微块的自主设计与制作 | 第63-66页 |
| ·微块的生物检测实验 | 第66-67页 |
| ·捕获阵列设计与仿真 | 第67-72页 |
| ·捕获单元设计 | 第67-69页 |
| ·捕获单元仿真 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 纳米压印工艺的研究 | 第73-82页 |
| ·压模的制备 | 第73-74页 |
| ·基底的清洗 | 第74-75页 |
| ·抗粘层的制备 | 第75-76页 |
| ·压印胶的配制和旋涂 | 第76-77页 |
| ·压印中温度、压力、时间的控制 | 第77-79页 |
| ·温度对纳米压印的影响 | 第77页 |
| ·压力对纳米压印的影响 | 第77-78页 |
| ·时间对纳米压印的影响 | 第78页 |
| ·实验过程中参数设置 | 第78-79页 |
| ·图形转移 | 第79-81页 |
| ·反应离子刻蚀（RIE） | 第79-80页 |
| ·金属化 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第六章 纳米压印法制备微块 | 第82-87页 |
| ·微块的纳米压印工艺流程 | 第82-84页 |
| ·微块的成功制备 | 第84-85页 |
| ·微块的荧光标记实验 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第七章 总结 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94页 |
