微环激光器的设计与测量

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章 绪论	第7-18页
·微环激光器的研究背景与现状	第7-10页
·微环激光器的发展历史	第10-11页
·微环激光器的种类	第11-14页
·微环激光器的应用前景	第14-18页
·全光存储	第14-15页
·全光逻辑	第15-17页
·本文研究的主要内容	第17-18页
第二章 微环激光器的工作原理	第18-37页
·半导体激光器的基本理论	第18-26页
·半导体激光器工作的三个基本条件	第18-19页
·量子阱及应变量子阱	第19-26页
·微环激光器的主体结构	第26-27页
·环形谐振腔的工作原理	第27-34页
·环形谐振腔的基本参量	第27-29页
·单环环形谐振腔的工作原理	第29-33页
·环形谐振腔的功能与应用	第33-34页
·微环激光器的光学双稳态	第34-37页
第三章 微环激光器的设计	第37-51页
·器件设计与衬底选择	第37-46页
·横向耦合结构	第37-45页
·竖直耦合结构	第45-46页
·本课题微环激光器设计考虑	第46-51页
·衬底材料等效折射率的估算	第46-48页
·器件参数设计与版图设计	第48-51页
第四章 微环激光器的制作工艺与测试	第51-64页
·半导体器件制备技术简介	第51-55页
·材料清洗	第51页
·光刻技术	第51-52页
·刻蚀	第52-53页
·电极制备	第53-55页
·后工艺	第55页
·本项目工艺流程	第55-59页
·衬底材料的选用	第55-57页
·本课题采用的工艺步骤	第57-59页
·微环激光器的性能测试	第59-64页
·芯片测试仪器与方法	第59-60页
·测试结果与分析	第60-62页
·分析与改进	第62-64页
第五章 结论	第64-65页
参考文献	第65-69页
发表论文和参加科研情况说明	第69-70页
致谢	第70页