| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·反铁电材料的研究历史 | 第10-11页 |
| ·反铁电薄膜材料的应用 | 第11-13页 |
| ·反铁电薄膜材料的应用概述 | 第11-12页 |
| ·反铁电薄膜在高能存储原理 | 第12-13页 |
| ·反铁电薄膜器件的电极材料 | 第13-15页 |
| ·钙钛矿金属氧化物LSCO材料的结构和性质 | 第15-17页 |
| ·LSCO研究概述 | 第15-16页 |
| ·LSCO薄膜研究现状 | 第16-17页 |
| ·反铁电及其底电极材料薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| ·溅射法 | 第17页 |
| ·化学溶液法 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积法 | 第18页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第18-19页 |
| ·本论文的选题依据和主要工作 | 第19-20页 |
| 第二章 薄膜的制备方法和表征方法 | 第20-37页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第20-24页 |
| ·衬底的准备 | 第20-21页 |
| ·sol-gel的基本原理 | 第21-24页 |
| ·薄膜微观结构表征方法 | 第24-30页 |
| ·X射线衍射原理 | 第24-27页 |
| ·AFM的工作原理 | 第27-29页 |
| ·SEM的工作原理 | 第29-30页 |
| ·薄膜电性能测试方法 | 第30-37页 |
| ·四探针测量原理 | 第31-34页 |
| ·P-E性能测试原理 | 第34-35页 |
| ·介电性能的测试原理 | 第35-37页 |
| 第三章 LSCO薄膜的制备与性能研究 | 第37-53页 |
| ·工艺参数对LSCO薄膜的影响 | 第37-40页 |
| ·LSCO溶胶凝胶制备工艺概述 | 第37页 |
| ·LSCO溶胶凝胶制备调研 | 第37-40页 |
| ·SIO_2/SI基片上LSCO薄膜制备工艺与性能调整 | 第40-51页 |
| ·LSCO溶胶的配置 | 第40-41页 |
| ·LSCO干凝胶的热分析 | 第41-43页 |
| ·不同升温速度对LSCO薄膜结构特性的影响 | 第43-45页 |
| ·不同预晶化温度对LSCO薄膜取向特性的影响 | 第45页 |
| ·不同的厚度对薄膜取向特性的影响 | 第45-46页 |
| ·使用LNO缓冲层制备的LSCO的结构特性 | 第46-47页 |
| ·LSCO薄膜的表血形貌情况研究 | 第47-50页 |
| ·LSCO薄膜的电特性研究 | 第50-51页 |
| ·LSCO的表面显微结构 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第四章 PZNT/LSCO异质结的制备与储能特性研究 | 第53-69页 |
| ·高密度储能反铁电薄膜文献综述 | 第53-55页 |
| ·PZNT功能陶瓷薄膜的制备方法 | 第55-58页 |
| ·PZNT的溶胶前驱物的配置方法 | 第55-58页 |
| ·PZNT薄膜异质结构的制备 | 第58页 |
| ·不同的底电极对PZNT性能的影响 | 第58-67页 |
| ·PZNT薄膜的AFM表面形貌分析 | 第58-59页 |
| ·不同底电极上制备的PZNT的取向特性 | 第59-60页 |
| ·不同底电极上制备的PZNT的断面形貌 | 第60-61页 |
| ·不同底电极P-E对频率的依赖关系 | 第61-64页 |
| ·储能密度的影响 | 第64-66页 |
| ·不同的底电极对介电特性的影响 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第78-80页 |