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纳米金属-氧化物-半导体结构中基于肖特基势垒调控的光电效应研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第10-50页
    1.1 引言第10-13页
    1.2 肖特基势垒及其特性第13-25页
        1.2.1 肖特基势垒第13-17页
        1.2.2 肖特基势垒的整流理论第17-23页
        1.2.3 与肖特基势垒调控有关的工作第23-25页
    1.3 侧向光伏效应简介第25-39页
        1.3.1 什么是侧向光伏效应第25-26页
        1.3.2 侧向光伏效应的发现与发展第26页
        1.3.3 侧向光伏效应机理的理论解释第26-39页
    1.4 光致双极性电阻效应简介第39-45页
        1.4.1 光致双极性电阻效应的性质和应用第39-42页
        1.4.2 光致双极性电阻效应机理第42-45页
    1.5 本论文主要工作第45-46页
    参考文献第46-50页
第二章 样品制备、测试与分析第50-58页
    2.1 样品制备第50-54页
        2.1.1 薄膜制备工艺简介第50-52页
        2.1.2 实验设备第52页
        2.1.3 衬底准备第52-53页
        2.1.4 样品制备第53-54页
        2.1.5 沉积率定标第54页
    2.2 样品形貌分析第54-56页
        2.2.1 SEM第55页
        2.2.2 AFM第55-56页
        2.2.3 TEM第56页
    2.3 样品测试第56-57页
    参考文献第57-58页
第三章 纳米金属颗粒-半导体结构中的肖特基势垒调控现象第58-88页
    3.1 激光辅助电脉冲诱导的纳米CU颗粒/SIO2/SI结构中非易失性光电响应第58-72页
        3.1.1 研究背景及结构的选取第58-59页
        3.1.2 样品制备与测试第59-62页
        3.1.3 实验结果及分析讨论第62-71页
        3.1.4 本研究在高密度阻变存储领域的应用潜力第71-72页
    3.2 激光辅助电脉冲诱导的可变侧向光伏效应第72-78页
        3.2.1 研究背景第72-73页
        3.2.2 实验结果及分析讨论第73-78页
        3.2.3 小结第78页
    3.3 激光辅助电脉冲调控结构中的双极性电阻效应第78-83页
        3.3.1 研究背景第78-79页
        3.3.2 实验结果及分析讨论第79-83页
        3.3.3 小结第83页
    3.4 本章总结第83-84页
    参考文献第84-88页
第四章 沟槽型混合肖特基结中的新型光电效应研究第88-112页
    4.1 沟槽型混合肖特基结中的侧向可变二极管效应第88-95页
        4.1.1 研究背景第88-89页
        4.1.2 样品制备与测试第89-90页
        4.1.3 结果及分析讨论第90-94页
        4.1.4 小结第94-95页
    4.2 沟槽型混合肖特结中的磁响应侧向光伏效应第95-103页
        4.2.1 研究背景第95-96页
        4.2.2 样品制备与测试第96页
        4.2.3 实验结果及分析讨论第96-103页
        4.2.4 小结第103页
    4.3 沟槽型混合肖特结中的光致磁电阻效应第103-108页
        4.3.1 研究背景第103-104页
        4.3.2 结果及分析讨论第104-108页
        4.3.3 小结第108页
    4.4 本章总结第108-109页
    参考文献第109-112页
第五章 全文总结第112-117页
    5.1 主要结论第112-114页
    5.2 本文创新点第114-115页
    5.3 研究展望第115-117页
攻读博士学位期间已发表或录用的论文第117-119页
致谢第119-122页

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