| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 压电材料的发展 | 第12-14页 |
| 1.2 微泵、微型压缩机的研究现状 | 第14-27页 |
| 1.2.1 微泵的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 压电微泵的研究现状 | 第16-24页 |
| 1.2.3 微型阀的研究现状 | 第24-27页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第27-30页 |
| 1.3.1 压电片驱动器的理论和实验研究 | 第28页 |
| 1.3.2 压电堆压气机的研究与计算 | 第28-30页 |
| 第二章 圆形压电薄膜的位移理论 | 第30-51页 |
| 2.1 压电振子的数学模型 | 第30-34页 |
| 2.1.1 压电材料的压电方程 | 第30-31页 |
| 2.1.2 压电元件的边界条件 | 第31-33页 |
| 2.1.3 压电材料的振动模式 | 第33-34页 |
| 2.2 压电片驱动弹性振膜的理论模型 | 第34-42页 |
| 2.2.1 压电驱动器结构和基本假设 | 第34-36页 |
| 2.2.2 弹性层和粘性层的受力分析 | 第36页 |
| 2.2.3 圆形压电电场分布与受力分析 | 第36-38页 |
| 2.2.4 模型求解 | 第38-41页 |
| 2.2.5 压电驱动器共振分析 | 第41-42页 |
| 2.3 计算结果分析 | 第42-49页 |
| 2.3.1 模型验证 | 第43-45页 |
| 2.3.2 不同电压和不同压电与弹性膜半径比 | 第45-46页 |
| 2.3.3 不同压电层厚度和弹性层厚度的影响 | 第46-48页 |
| 2.3.4 不同半径比和弹性层厚度对共振频率的影响 | 第48-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第三章 压电堆压气机的结构和工作机制 | 第51-63页 |
| 3.1 压电堆压气机的结构 | 第51-53页 |
| 3.2 被动阀片结构设计 | 第53-59页 |
| 3.2.1 微型阀的结构设计 | 第53-57页 |
| 3.2.2 微型阀的流动阻力和流量计算 | 第57-59页 |
| 3.3 压电堆压气机的工作流程 | 第59-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 压电堆压气机理论与计算分析 | 第63-81页 |
| 4.1 压电堆模型 | 第63-65页 |
| 4.2 共振压气动力学模型 | 第65-72页 |
| 4.2.1 理想压电堆压气机的动力学模型 | 第66-68页 |
| 4.2.2 压电堆压气机的参数分析 | 第68-72页 |
| 4.3 泵腔和阀片模型 | 第72-74页 |
| 4.3.1 泵腔模型 | 第72-73页 |
| 4.3.2 被动阀片建模 | 第73-74页 |
| 4.4 状态法求解压电堆压气机的工作流程 | 第74-79页 |
| 4.4.1 不同工作阶段的状态方程 | 第74-76页 |
| 4.4.2 状态方程的求解和结果分析 | 第76-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 第五章 总结与展望 | 第81-84页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第81-82页 |
| 5.2 本文主要创新点 | 第82-83页 |
| 5.3 研究展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第89页 |