压强及氮气对HFCVD硼掺杂金刚石膜的制备及性质影响

内容提要	第1-8页
第一章 绪论	第8-12页
·金刚石的结构	第8页
·金刚石的性质及应用	第8-12页
第二章 人工合成金刚石的原理与方法	第12-22页
·人工合成金刚石的历史	第12-13页
·化学气相沉积金刚石的生长机理	第13-18页
·石墨和金刚石相图	第13-14页
·金刚石CVD 过程中的生长基团和反应过程	第14-15页
·原子氢的作用	第15-16页
·CVD 金刚石膜的生长模式	第16-18页
·低压CVD 合成金刚石的设备简介	第18-20页
·热丝CVD 法和电子辅助热丝法	第18页
·微波等离子体CVD	第18-19页
·直流热阴极等离子体CVD	第19-20页
·直流等离子体喷射CVD 法	第20页
·硼掺杂金刚石膜的生长及应用进展	第20-21页
·论文的选题及主要研究内容	第21-22页
第三章 硼掺杂金刚石薄膜的制备及其表征	第22-40页
·电子辅助热灯丝化学气相沉积法简介	第22-24页
·实验设备简介	第22-23页
·热灯丝的选择	第23页
·硼源的选择	第23-24页
·硼掺杂金刚石薄膜的制备	第24-39页
·硼流量对生长硼掺杂金刚石膜的影响	第24-31页
·生长气压对生长硼掺杂金刚石膜的影响	第31-39页
·第三章总结	第39-40页
第四章 氮气对掺硼金刚石薄膜的制备及性质的影响	第40-52页
·实验方法	第40页
·氮气对生长金刚石薄膜的影响	第40-44页
·灯丝与基底间的距离对金刚石薄膜沉积的影响	第40-42页
·氮气浓度对金刚石薄膜沉积的影响	第42-44页
·氮气对生长硼掺杂薄膜的影响	第44-51页
·第四章总结	第51-52页
第五章 全文总结	第52-54页
参考文献	第54-63页
攻读硕士期间发表和提交的论文	第63-64页
致谢	第64-65页
中文摘要	第65-67页
Abstract	第67-68页