| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 微(光)机电系统综述 | 第11-12页 |
| 1.2 微机电微镜研究现状 | 第12-18页 |
| 1.3 输出调节理论研究概述 | 第18-19页 |
| 1.4 复合非线性反馈算法研究概述 | 第19-20页 |
| 1.5 论文研究的内容和结构安排 | 第20-21页 |
| 1.6 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 微机电微镜的模型和实验平台 | 第22-37页 |
| 2.1 电磁微机电扭转微镜的数学模型 | 第22-31页 |
| 2.2 电磁微机电扭转微镜的实验平台 | 第31-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 不确定性下的基于线性鲁棒输出调节理论的微机电微镜跟踪控制 | 第37-46页 |
| 3.1 概述 | 第37-38页 |
| 3.2 问题描述 | 第38-39页 |
| 3.3 预备知识 | 第39-40页 |
| 3.4 控制器设计 | 第40-42页 |
| 3.5 实验结果与分析 | 第42-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 输入受限下的基于复合非线性反馈的微机电微镜定点控制 | 第46-55页 |
| 4.1 概述 | 第46-47页 |
| 4.2 问题描述 | 第47-50页 |
| 4.3 预备知识 | 第50-52页 |
| 4.4 控制器设计 | 第52-53页 |
| 4.5 实验结果与分析 | 第53-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 输入方向未知下的基于Nussbuam增益和反步法的微机电微镜定点控制 | 第55-64页 |
| 5.1 概述 | 第55-56页 |
| 5.2 问题描述 | 第56-57页 |
| 5.3 预备知识 | 第57-60页 |
| 5.4 控制器设计 | 第60-62页 |
| 5.5 实验结果与分析 | 第62-63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结和展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64页 |
| 6.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-75页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附件 | 第77页 |
