| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-21页 |
| 1.1 铁电材料的物理性能 | 第10-16页 |
| 1.1.1 铁电性能 | 第10-11页 |
| 1.1.2 铁电材料的介电性能 | 第11-13页 |
| 1.1.3 铁电薄膜的漏电机理 | 第13-15页 |
| 1.1.4 铁电材料的阻变特性 | 第15-16页 |
| 1.2 Na_0.5Y_0.5TiO_3材料研究进展 | 第16-20页 |
| 1.2.1 Na_0.5Y_0.5TiO_3的研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2.2 Na_0.5Y_0.5TiO_3的结构 | 第17-18页 |
| 1.2.3 电极材料对铁电性能的影响 | 第18-19页 |
| 1.2.4 退火气氛对铁电性能的影响 | 第19-20页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 底电极材料对Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜性能的影响 | 第21-34页 |
| 2.1 La_0.5Sr_0.5CoO_3底电极的制备与表征 | 第21-25页 |
| 2.1.1 靶材的制备与表征 | 第21-22页 |
| 2.1.2 薄膜的制备与表征 | 第22-25页 |
| 2.2 SrRuO_3底电极的制备 | 第25页 |
| 2.3 Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜的制备与表征 | 第25-30页 |
| 2.3.1 靶材的制备及表征 | 第25-27页 |
| 2.3.2 薄膜的制备及表征 | 第27-30页 |
| 2.4 底电极材料对Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| 2.4.1 薄膜性能的测量 | 第30页 |
| 2.4.2 底电极对铁电性能的影响 | 第30-32页 |
| 2.4.3 底电极对介电和漏电性能的影响 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 Pt/Na_0.5Y_0.5TiO_3/Nb:SrTiO_3电容器的结构和性能 | 第34-41页 |
| 3.1 Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜的制备与测量 | 第34-35页 |
| 3.2 Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜的结构与形貌 | 第35-36页 |
| 3.3 Pt/Na_0.5Y_0.5TiO_3/Nb:SrTiO_3电容器的性能 | 第36-40页 |
| 3.3.1 漏电性能 | 第36-37页 |
| 3.3.2 铁电及介电性能 | 第37-39页 |
| 3.3.3 阻变特性 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 退火气氛对Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜性能的影响 | 第41-49页 |
| 4.1 样品的制备与测试 | 第41页 |
| 4.2 退火气氛对Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜的结构与形貌的影响 | 第41-43页 |
| 4.3 退火气氛对Na_0.5Y_0.5TiO_3薄膜性能的影响 | 第43-48页 |
| 4.3.1 退火气氛对漏电性能的影响 | 第43-44页 |
| 4.3.2 退火气氛对铁电性能的影响 | 第44-45页 |
| 4.3.3 退火气氛对介电性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.3.4 退火气氛对阻变特性的影响 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结束语 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第57页 |
