小尺寸真空测试技术研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第10页 |
| 1.2 课题研究的意义 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状和发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.4 本文主要研究工作和内容结构 | 第13-15页 |
| 2 真空测量装置的原理 | 第15-22页 |
| 2.1 石英晶振真空测量装置的基本原理 | 第15-19页 |
| 2.1.1 真空的相关介绍 | 第15页 |
| 2.1.2 石英晶振等效电路 | 第15-17页 |
| 2.1.3 石英晶振真空测量原理 | 第17-19页 |
| 2.2 石英晶振振荡电路 | 第19-21页 |
| 2.2.1 皮尔斯振荡电路 | 第19-20页 |
| 2.2.2 密勒振荡电路 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 真空测量装置总体设计 | 第22-28页 |
| 3.1 真空测量装置概述 | 第22页 |
| 3.2 测量装置总体方案设计 | 第22-27页 |
| 3.2.1 石英晶振振荡电路的选择 | 第22-23页 |
| 3.2.2 振荡电路元器件分析 | 第23-24页 |
| 3.2.3 测量装置的总体设计 | 第24-27页 |
| 3.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 4 真空测量装置系统硬件设计 | 第28-45页 |
| 4.1 硬件电路总体设计 | 第28页 |
| 4.2 传感探测部分硬件电路设计 | 第28-35页 |
| 4.2.1 电源电路 | 第28-30页 |
| 4.2.2 振荡电路 | 第30-31页 |
| 4.2.3 电压跟随器电路 | 第31-32页 |
| 4.2.4 差分放大电路 | 第32-33页 |
| 4.2.5 真有效值转换电路 | 第33-34页 |
| 4.2.6 直流放大电路 | 第34-35页 |
| 4.3 数据处理部分硬件电路设计 | 第35-42页 |
| 4.3.1 单片机最小系统电路 | 第35-39页 |
| 4.3.2 串口通讯电路 | 第39页 |
| 4.3.3 数据存储电路 | 第39-40页 |
| 4.3.4 温度采集控制电路 | 第40-41页 |
| 4.3.5 显示电路 | 第41-42页 |
| 4.4 硬件电路PCB设计 | 第42-43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 5 真空测量装置系统软件设计 | 第45-53页 |
| 5.1 软件系统总体设计 | 第45-46页 |
| 5.1.1 系统软件平台搭建 | 第46页 |
| 5.1.2 系统软件设计思路 | 第46页 |
| 5.2 系统软件模块化设计与配置 | 第46-52页 |
| 5.2.1 通用输入输出接口 | 第46页 |
| 5.2.2 系统时钟配置 | 第46-47页 |
| 5.2.3 模数转换器 | 第47-48页 |
| 5.2.4 串口通讯 | 第48-50页 |
| 5.2.5 滤波算法 | 第50-51页 |
| 5.2.6 I2C读写 | 第51-52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 系统调试与数据分析 | 第53-68页 |
| 6.1 系统硬件模块调试 | 第53-58页 |
| 6.1.1 电源电路调试 | 第53页 |
| 6.1.2 振荡电路调试 | 第53-54页 |
| 6.1.3 电压跟随器调试 | 第54-55页 |
| 6.1.4 反向电路调试 | 第55-56页 |
| 6.1.5 去偏置以及差分放大电路调试 | 第56-57页 |
| 6.1.6 真有效值转换电路调试 | 第57-58页 |
| 6.1.7 单片机最小系统电路调试 | 第58页 |
| 6.2 系统软件模块调试 | 第58-61页 |
| 6.2.1 串口通讯调试 | 第58-59页 |
| 6.2.2 模数转换器调试 | 第59页 |
| 6.2.3 I2C调试 | 第59-60页 |
| 6.2.4 温度采集控制模块调试 | 第60-61页 |
| 6.3 实验结果与误差分析 | 第61-67页 |
| 6.3.1 实验测量结果 | 第61-67页 |
| 6.3.2 误差分析 | 第67页 |
| 6.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 7 结论与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 结论 | 第68页 |
| 7.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-77页 |
| 附录 | 第77-84页 |
