| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 微热板式气体传感器概述 | 第11-17页 |
| 1.2.1 微热板简介 | 第11-12页 |
| 1.2.2 微热板式气体传感器的研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2.3 微热板式气体传感器的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 悬挂式微热板的设计与制作 | 第19-36页 |
| 2.1 ANSYS 有限元分析介绍[35] | 第19-23页 |
| 2.1.1 ANSYS 稳态热分析过程 | 第19-22页 |
| 2.1.2 ANSYS 热应力分析过程 | 第22-23页 |
| 2.2 悬挂式微热板的结构设计 | 第23-27页 |
| 2.2.1 衬底材料的设计 | 第24-25页 |
| 2.2.2 支撑层的设计 | 第25-26页 |
| 2.2.3 电极的设计 | 第26-27页 |
| 2.3 悬挂式微热板的模拟仿真 | 第27-32页 |
| 2.3.1 硅衬底尺寸的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.2 微热板背面硅层的影响 | 第28-29页 |
| 2.3.3 电极引脚尺寸的影响 | 第29-30页 |
| 2.3.4 绝缘层的优化设计 | 第30页 |
| 2.3.5 微热板的热应力分析 | 第30-31页 |
| 2.3.6 小结 | 第31-32页 |
| 2.4 悬挂式微热板的 MEMS 工艺流片 | 第32-35页 |
| 2.4.1 MEMS 工艺流程 | 第32-33页 |
| 2.4.2 悬挂式微热板的性能测试 | 第33-35页 |
| 2.5 本章总结 | 第35-36页 |
| 第三章 微热板基气敏元件的制作及其气敏特性表征 | 第36-55页 |
| 3.1 半导体氧化物 ZnO 简介 | 第36-37页 |
| 3.2 分等级中空 ZnO 微球的水热合成研究 | 第37-46页 |
| 3.2.1 分等级中空 ZnO 微球的水热合成 | 第38-39页 |
| 3.2.2 分等级中空 ZnO 微球的物相及形貌表征 | 第39-40页 |
| 3.2.3 前驱物对 ZnO 微球形貌的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.4 分等级中空 ZnO 微球的生长机理 | 第41-43页 |
| 3.2.5 分等级中空 ZnO 微球的乙醇气敏特性表征 | 第43-46页 |
| 3.3 微热板基气敏元件的制作 | 第46-49页 |
| 3.3.1 微热板的引线制作 | 第47页 |
| 3.3.2 敏感材料成膜 | 第47-48页 |
| 3.3.3 器件焊接及老化 | 第48页 |
| 3.3.4 器件测试 | 第48-49页 |
| 3.4 微热板基气敏元件的气敏特性表征 | 第49-53页 |
| 3.4.1 NO2气敏特性表征 | 第49-52页 |
| 3.4.2 CH4气敏特性表征 | 第52-53页 |
| 3.5 本章总结 | 第53-55页 |
| 第四章 锌锡复合物的物相验证 | 第55-62页 |
| 4.1 三元复合物锡酸锌简介 | 第55-56页 |
| 4.2 锌锡复合物的物相验证 | 第56-61页 |
| 4.2.1 锌锡复合物的合成 | 第56-57页 |
| 4.2.2 锌锡复合物的形貌及物相表征 | 第57-58页 |
| 4.2.3 锌锡复合物的 TG/DSC 分析 | 第58-59页 |
| 4.2.4 锌锡复合物的 FTIR 分析 | 第59-60页 |
| 4.2.5 锌锡复合物退火后的 XRD 表征及分析 | 第60-61页 |
| 4.3 本章总结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-74页 |
| 作者简介 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
