微观表面三维形貌检测系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 课题的来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究的背景和意义 | 第8页 |
| 1.3 表面形貌检测方法概述 | 第8-9页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第9-11页 |
| 第2章 微分移相干涉检测系统基本原理及总体设计 | 第11-17页 |
| 2.1 检测系统的工作原理 | 第11-12页 |
| 2.2 微分剪切干涉原理 | 第12-14页 |
| 2.2.1 横向剪切的测量原理 | 第12-13页 |
| 2.2.2 微分剪切的方法 | 第13-14页 |
| 2.3 相移干涉的原理和方法 | 第14-16页 |
| 2.3.1 相移干涉的基本原理 | 第14-16页 |
| 2.3.2 实现相移的方法 | 第16页 |
| 2.4 系统的主要误差来源 | 第16页 |
| 2.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 第3章 微分移相干涉检测系统各部分的研究和设计 | 第17-33页 |
| 3.1 引言 | 第17页 |
| 3.2 硬件系统部分的研究和设计 | 第17-24页 |
| 3.2.1 光学系统部分 | 第17-21页 |
| 3.2.2 表面检测前端装置 | 第21-24页 |
| 3.2.3 图像采集后端装置 | 第24页 |
| 3.3 软件系统部分的研究和设计 | 第24-32页 |
| 3.3.1 表面形貌图像的采集 | 第25-28页 |
| 3.3.2 表面形貌图像的处理 | 第28-30页 |
| 3.3.3 三维图像结果的显示 | 第30-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 样品测量实验结果及误差分析 | 第33-51页 |
| 4.1 引言 | 第33页 |
| 4.2 样品的测量实验及粗糙度计算 | 第33-43页 |
| 4.2.1 有隔震台条件下样品的检测实验 | 第33-35页 |
| 4.2.2 无隔震台条件下样品的检测实验 | 第35-40页 |
| 4.2.3 粗糙度的计算 | 第40-43页 |
| 4.3 实验结果对比分析 | 第43-44页 |
| 4.4 实验系统性能参数分析 | 第44-46页 |
| 4.4.1 垂轴分辨率 | 第44页 |
| 4.4.2 轴向分辨率 | 第44-45页 |
| 4.4.3 粗糙度重复测量精度 | 第45页 |
| 4.4.4 纵向高度重复测量精度 | 第45-46页 |
| 4.5 误差分析 | 第46-50页 |
| 4.5.1 移相过程产生的误差 | 第47页 |
| 4.5.2 CCD 采集过程产生的误差 | 第47页 |
| 4.5.3 光路方向改变引起的误差 | 第47页 |
| 4.5.4 离焦检测引起的误差 | 第47-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 总结与展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
