薄膜热学参数测试结构设计与仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·微尺度热传输理论的研究 | 第9页 |
| ·微尺度热分析发展状况 | 第9-11页 |
| ·国外微尺度热分析发展状况 | 第10页 |
| ·国内微尺度热分析发展状况 | 第10-11页 |
| ·本论文的主要工作与意义 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第11-12页 |
| ·本论文的意义 | 第12-13页 |
| 第二章 薄膜热膨胀系数测试结构设计与仿真 | 第13-31页 |
| ·热膨胀系数概述 | 第13-15页 |
| ·材料热膨胀系数的特征参数 | 第15-17页 |
| ·线性热膨胀系数 | 第15-16页 |
| ·平均热膨胀系数 | 第16页 |
| ·微分热膨胀系数 | 第16-17页 |
| ·薄膜热膨胀系数测试方法 | 第17-19页 |
| ·双层膜梁法 | 第17-18页 |
| ·薄膜翘曲测量法 | 第18-19页 |
| ·差分电容式测量法 | 第19页 |
| ·热执行器法测试薄膜热膨胀系数原理 | 第19-23页 |
| ·有限元分析法 | 第23-24页 |
| ·有限元分析 | 第23页 |
| ·ANSYS 软件 | 第23-24页 |
| ·热执行器法测试薄膜热膨胀系数仿真 | 第24-30页 |
| ·测试结构仿真思想 | 第24-27页 |
| ·长短悬臂梁长度比例对位移的影响 | 第27-28页 |
| ·悬臂梁厚度对位移的影响 | 第28-30页 |
| ·结论 | 第30-31页 |
| 第三章 薄膜热导率测试结构设计与仿真 | 第31-56页 |
| ·薄膜热导率概述 | 第31-32页 |
| ·材料导热能力的特征参数 | 第32-33页 |
| ·热导率 | 第32-33页 |
| ·热扩散率 | 第33页 |
| ·热扩散率与热导率关系 | 第33页 |
| ·薄膜热导率的测量方法 | 第33-39页 |
| ·直接法 | 第34-36页 |
| ·间接法 | 第36-39页 |
| ·比较法测试薄膜热导率原理 | 第39-42页 |
| ·比较法测试薄膜热导率仿真 | 第42-47页 |
| ·测试结构仿真思想 | 第42-45页 |
| ·加热功率对结构热学特性的影响 | 第45-46页 |
| ·悬梁长度和宽度对结构热学特性的影响 | 第46-47页 |
| ·薄膜热导率对结构热学特性的影响 | 第47页 |
| ·氮化硅薄膜热导率测试结构的制造 | 第47-55页 |
| ·材料的选择 | 第47-48页 |
| ·测试结构的工艺流程 | 第48-51页 |
| ·测试结构的版图设计 | 第51-54页 |
| ·薄膜热导率测试步骤 | 第54-55页 |
| ·结论 | 第55-56页 |
| 第四章 薄膜热容测试结构设计与仿真 | 第56-73页 |
| ·薄膜热容概述 | 第56-57页 |
| ·热容的特征参数 | 第57-58页 |
| ·热容测试方法 | 第58-61页 |
| ·悬桥法测试薄膜热容工作原理 | 第61-62页 |
| ·悬桥法测试薄膜热容的仿真 | 第62-66页 |
| ·测试结构仿真思想 | 第62-64页 |
| ·温度变化 | 第64-65页 |
| ·温度梯度分布 | 第65-66页 |
| ·电压对最高温度影响 | 第66页 |
| ·薄膜热容测试结构的制造 | 第66-71页 |
| ·材料的选择 | 第66-67页 |
| ·结构制作工艺步骤及版图设计 | 第67-71页 |
| ·薄膜热容测试步骤 | 第71页 |
| ·总结 | 第71-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·本文的主要工作 | 第73-74页 |
| ·以后工作展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
