| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1．1 掺稀土元素放大器的产生和发展及应用意义 | 第9-10页 |
| 1．2 放大器的基本原理与基体材料的选择 | 第10-12页 |
| 1．3 掺铒光波导放大器相关研究的国内外进展 | 第12-20页 |
| 2 Yb：Er共掺Al_2O_3薄膜制备及光致发光特性 | 第20-34页 |
| 2．1 中频溅射技术制备掺Er：Al_2O_3薄膜样品 | 第20-28页 |
| 2．1．1 中频溅射制备Yb：Er共掺Al_2O_3薄膜 | 第21-23页 |
| 2．1．2 光致发光光谱检测系统 | 第23-24页 |
| 2．1．3 退火温度的选择 | 第24-26页 |
| 2．1．4 铒镱共掺对荧光谱强度的提高 | 第26-28页 |
| 2．2 微波电子回旋共振等离子体源(ECR-MW)制备Yb：Er共掺Al_2O_3薄膜 | 第28-34页 |
| 2．2．1 微波电子回旋共振等离子体源实验系统 | 第28-29页 |
| 2．2．2 Ar：O_2比例 | 第29-30页 |
| 2．2．3 退火温度 | 第30页 |
| 2．2．4 最佳铒镱比例 | 第30-34页 |
| 3 Yb：Er共掺Al_2O_3光波导放大器净增益特性 | 第34-43页 |
| 3．1 薄膜的光刻工艺 | 第34-36页 |
| 3．2 光纤与波导的耦合 | 第36-38页 |
| 3．3 光波导放大器增益的测量 | 第38-43页 |
| 4 纵向非均匀掺杂光波导放大器特性数值模拟研究 | 第43-57页 |
| 4．1 掺铒光波导放大器模型 | 第43-46页 |
| 4．2 能级转换效应 | 第46-48页 |
| 4．3 自适应方法 | 第48-49页 |
| 4．4 计算结果与讨论 | 第49-54页 |
| 4．4．1 非均匀掺铒光波导放大器 | 第50-51页 |
| 4．4．2 非均匀Yb：Er共掺光波导放大器 | 第51-52页 |
| 4．4．3 结论 | 第52-54页 |
| 4．5 激光退火 | 第54-57页 |
| 5 结论 | 第57-59页 |
| 硕士学位期间发表学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第62页 |
