Cu丝与镀Au层互连微电阻焊工艺及其可靠性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及研究目的 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外的研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 铜线互连技术 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微电阻焊互连技术 | 第13-15页 |
| 1.2.3 铜金互连及其可靠性 | 第15-17页 |
| 1.2.4 接触电阻模型 | 第17页 |
| 1.2.5 国内外文献综述的简析 | 第17-18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第19-27页 |
| 2.1 实验过程概述 | 第19页 |
| 2.2 实验材料及设备 | 第19-22页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第19-20页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第20-22页 |
| 2.3 试样制备及实验方法 | 第22-26页 |
| 2.3.1 正交实验设计 | 第22-23页 |
| 2.3.2 可靠性试验 | 第23-25页 |
| 2.3.3 有限元分析方法 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 焊点工艺试验及力学性能研究 | 第27-44页 |
| 3.1 参数对接头形貌的影响 | 第27-30页 |
| 3.2 焊点拉伸性能及断口分析 | 第30-36页 |
| 3.2.1 拉伸试验结果 | 第30-32页 |
| 3.2.2 拉伸结果分析 | 第32-33页 |
| 3.2.3 拉伸断口分析 | 第33-35页 |
| 3.2.4 U2t对拉伸性能的影响 | 第35-36页 |
| 3.3 焊点剪切性能及断口分析 | 第36-40页 |
| 3.3.1 剪切试验结果 | 第36-37页 |
| 3.3.2 剪切结果分析 | 第37-38页 |
| 3.3.3 剪切断口分析 | 第38-40页 |
| 3.3.4 U2t对剪切性能的影响 | 第40页 |
| 3.4 优化参数焊点力学性能及焊接电流测量 | 第40-42页 |
| 3.4.1 优化参数焊点力学性能 | 第40-41页 |
| 3.4.2 镀金层表面粗糙度 | 第41-42页 |
| 3.4.3 焊接电流动态测量 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 焊点互连机理与可靠性试验 | 第44-56页 |
| 4.1 焊点微观组织及互连机理 | 第44-48页 |
| 4.1.1 Cu-Au固溶体 | 第44-45页 |
| 4.1.2 截面组织及形貌 | 第45-47页 |
| 4.1.3 互连机理分析 | 第47-48页 |
| 4.2 互连焊点可靠性研究 | 第48-54页 |
| 4.2.1 高低温热冲击可靠性 | 第48-50页 |
| 4.2.2 高温热老化可靠性 | 第50-51页 |
| 4.2.3 随机振动可靠性 | 第51-52页 |
| 4.2.4 通电热老化可靠性 | 第52-53页 |
| 4.2.5 可靠性试验中焊点氧化问题 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 焊接过程及焊点可靠性模拟 | 第56-71页 |
| 5.1 有限元模型的建立 | 第56-59页 |
| 5.1.1 模型的简化假设 | 第56页 |
| 5.1.2 单元选取及模型参数 | 第56-58页 |
| 5.1.3 模型尺寸及网格划分 | 第58-59页 |
| 5.2 焊接过程有限元计算 | 第59-64页 |
| 5.2.1 接触单元设置 | 第59-60页 |
| 5.2.2 焊接过程有限元分析结果 | 第60-64页 |
| 5.3 互连焊点可靠性有限元分析 | 第64-69页 |
| 5.3.1 加速度与应力分布 | 第64-66页 |
| 5.3.2 通电热老化试验有限元计算 | 第66-67页 |
| 5.3.3 随机振动有限元计算 | 第67-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
