| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 压电式精密驱动机构研究进展 | 第12-17页 |
| 1.2.1 直动式精密驱动机构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 步进式精密驱动机构 | 第13-15页 |
| 1.2.3 惯性式精密驱动机构 | 第15-16页 |
| 1.2.4 各类精密驱动机构的特点 | 第16-17页 |
| 1.3 粘滑型压电平面精密运动机构 | 第17-21页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 压电陶瓷材料和压电方程及其参数 | 第22-32页 |
| 2.1 压电陶瓷材料 | 第22-23页 |
| 2.1.1 电子功能陶瓷 | 第22页 |
| 2.1.2 压电陶瓷材料 | 第22-23页 |
| 2.2 压电方程及其参数 | 第23-30页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第23-25页 |
| 2.2.2 压电方程中的独立变量 | 第25-27页 |
| 2.2.3 压电方程中的机械参数和电参数 | 第27-29页 |
| 2.2.4 压电方程中的独立常数 | 第29-30页 |
| 2.3 压电材料的其他性能参数 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 两端固支压电元件的弯曲特性 | 第32-53页 |
| 3.1 压电弯曲元件 | 第32-35页 |
| 3.2 矩形层合板的弯曲特性解析 | 第35-42页 |
| 3.3 压电双晶片的弯曲特性解析 | 第42-49页 |
| 3.4 两端固支双晶片弯曲特性的有限元解析 | 第49-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 压电双晶片性能实验分析 | 第53-66页 |
| 4.1 实验装置和测试方法 | 第53-55页 |
| 4.1.1 被测对象和加载方式 | 第53-54页 |
| 4.1.2 测试系统组成和测试方法 | 第54-55页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第55-64页 |
| 4.2.1 电压-位移特性 | 第56-58页 |
| 4.2.2 位移-载荷特性 | 第58-60页 |
| 4.2.3 迟滞特性 | 第60-63页 |
| 4.2.4 蠕变特性 | 第63-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 粘滑型平面精密运动机构研究 | 第66-90页 |
| 5.1 粘滑型精密运动机构的结构设计和工作原理 | 第66-70页 |
| 5.1.1 两自由度粘滑机构的结构设计 | 第66-68页 |
| 5.1.2 粘滑机构的工作原理 | 第68-70页 |
| 5.2 粘滑型精密运动机构的动态特性分析 | 第70-74页 |
| 5.2.1 动力学模型的建立 | 第70-71页 |
| 5.2.2 仿真分析 | 第71-74页 |
| 5.3 粘滑型两自由度精密运动机构的性能测试 | 第74-82页 |
| 5.3.1 摩擦力因素 | 第75页 |
| 5.3.2 步距-电压特性 | 第75-76页 |
| 5.3.3 步距-频率特性 | 第76-77页 |
| 5.3.4 两向运动情况 | 第77-79页 |
| 5.3.5 负载能力 | 第79-80页 |
| 5.3.6 振子步距和机构步距的关系 | 第80-81页 |
| 5.3.7 机构性能小结 | 第81-82页 |
| 5.4 粘滑型三自由度平面精密运动机构 | 第82-89页 |
| 5.4.1 平面精密运动机构的结构设计和运动学分析 | 第82-86页 |
| 5.4.2 平面精密运动机构的运动控制方法 | 第86-87页 |
| 5.4.3 平面精密运动机构的控制性能测试 | 第87-89页 |
| 5.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 粘滑型平面精密运动机构电控系统 | 第90-99页 |
| 6.1 控制系统方案 | 第90-91页 |
| 6.2 硬件系统 | 第91-96页 |
| 6.2.1 硬件系统组成 | 第91-93页 |
| 6.2.2 硬件电路设计 | 第93-96页 |
| 6.3 系统软件设计 | 第96-98页 |
| 6.4 小结 | 第98-99页 |
| 第七章 结论 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-108页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第108页 |
| 攻读博士学位期间参加科研的情况 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 摘要 | 第110-113页 |
| ABSTRACT | 第113页 |