| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 声表面波技术的发展与应用 | 第10-13页 |
| 1.2 CO_2过量排放的危害及国内外CO_2排放分析和预测 | 第13-17页 |
| 1.2.1 CO_2排放的危害 | 第13-15页 |
| 1.2.2 国内外CO_2排放现状分析和预测 | 第15-17页 |
| 1.3 CO_2检测技术的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.4 本论文的研究内容和创新性 | 第19-22页 |
| 第二章 声表面波技术和声表面波气体传感器的基本原理 | 第22-50页 |
| 2.1 声表面波的激发和传播 | 第22-26页 |
| 2.2 声表面波器件的分析模型 | 第26-44页 |
| 2.2.1 δ函数模型 | 第26-28页 |
| 2.2.2 脉冲响应模型 | 第28-29页 |
| 2.2.3 等效电路模型 | 第29-33页 |
| 2.2.4 耦合模模型 | 第33-40页 |
| 2.2.5 有限元法 | 第40-44页 |
| 2.3 声表面波气体传感器的主要结构和原理 | 第44-50页 |
| 2.3.1 声表面波气体传感器的结构 | 第45-46页 |
| 2.3.2 声表面波气体传感器的原理 | 第46-50页 |
| 第三章 基于声表面波CO_2传感器的设计 | 第50-66页 |
| 3.1 器件原理和模型 | 第50-54页 |
| 3.2 衬底材料的选择 | 第54-55页 |
| 3.3 电极金属参数设计 | 第55-62页 |
| 3.3.1 电极材料的选择 | 第55-59页 |
| 3.3.2 IDTs和反射栅参数 | 第59-62页 |
| 3.4 敏感膜的选择 | 第62-66页 |
| 第四章 CO_2气体传感器的制备和表征 | 第66-84页 |
| 4.1 声表面波单端口谐振器的制备 | 第66-74页 |
| 4.1.1 基片清洗 | 第67页 |
| 4.1.2 金属化 | 第67-69页 |
| 4.1.3 曝光和刻蚀 | 第69-71页 |
| 4.1.4 光刻后的检测和工艺的优化 | 第71-73页 |
| 4.1.5 划片、封装和测试 | 第73-74页 |
| 4.2 敏感膜的修饰和表征 | 第74-84页 |
| 4.2.1 L-丙氨酸敏感膜的电沉积与表征 | 第74-78页 |
| 4.2.2 石墨烯的制备与表征 | 第78-80页 |
| 4.2.3 Ni-Gr电极的电沉积与表征 | 第80-84页 |
| 第五章 CO_2气体传感器的测试 | 第84-89页 |
| 5.1 测试平台的构建 | 第84-87页 |
| 5.1.1 整体结构 | 第84-85页 |
| 5.1.2 气体浓度控制 | 第85-86页 |
| 5.1.3 网络分析仪用测试屏蔽盒的设计 | 第86-87页 |
| 5.2 测量方法和步骤 | 第87页 |
| 5.3 声表面波气体传感器的频率响应 | 第87-89页 |
| 第六章 气体传感器的标定、稳定性和抗干扰性能的测试与研究 | 第89-103页 |
| 6.1 CO_2气体传感器的标定 | 第89-98页 |
| 6.1.1 CO_2气体传感器静态特性的标定 | 第90-96页 |
| 1．线性度 | 第90-91页 |
| 2．重复性 | 第91-93页 |
| 3．迟滞性 | 第93-94页 |
| 4．精确度 | 第94-95页 |
| 5．灵敏度 | 第95-96页 |
| 6.1.2 CO_2气体传感器动态特性的标定 | 第96-98页 |
| 1．时间常数（t） | 第97页 |
| 2．上升时间（t_r ） | 第97-98页 |
| 6.2 CO_2气体传感器的稳定性研究 | 第98-99页 |
| 6.3 CO_2气体传感器抗干扰性测试 | 第99-103页 |
| 6.3.1 温度漂移 | 第100-101页 |
| 6.3.2 气体干扰性 | 第101-103页 |
| 第七章 结论与展望 | 第103-106页 |
| 7.1 结论 | 第103页 |
| 7.2 未来展望 | 第103-106页 |
| 参考文献 | 第106-117页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
