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多孔硅制备工艺及其在硅太阳能电池上的应用

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-13页
第二章 文献综述第13-31页
    2.1 太阳能电池工作原理和制备工艺第13-17页
        2.1.1 太阳能电池工作原理第13-14页
        2.1.2 太阳能电池电学性能参数第14-17页
    2.2 太阳能电池的发展历史和趋势第17-22页
    2.3 晶硅太阳能电池减反射结构的研究进展第22-29页
        2.3.1 减反射结构在太阳能电池上的应用第22-24页
        2.3.2 多孔硅减反射结构在太阳能电池上的研究应用第24-29页
    2.4 本论文的研究内容和目的第29-31页
第三章 实验第31-37页
    3.1 实验方案第31-32页
        3.1.1 银催化多孔硅制备在p型硅太阳电池上的应用第31页
        3.1.2 银催化多孔硅制备在n型硅太阳电池上的应用第31-32页
        3.1.3 本文创新点第32页
    3.2 实验设备第32-34页
        3.2.1 激光切片机第32-33页
        3.2.2 等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统第33页
        3.2.3 快速热处理(RTP)炉第33-34页
    3.3 测试设备第34-37页
        3.3.1 紫外可见吸收(透射)光谱仪(UV-VIS)第34-35页
        3.3.2 少子寿命测试仪第35页
        3.3.3 扫描电子显微镜第35页
        3.3.4 太阳电池片效率分选机第35-36页
        3.3.5 太阳能电池量子效率测试系统第36-37页
第四章 银催化多孔硅制备在p型硅太阳电池上的应用第37-63页
    4.1 引言第37-38页
    4.2 p型硅表面银催化腐蚀多孔硅结构的制备与表征第38-43页
        4.2.1 前言第38页
        4.2.2 实验第38页
        4.2.3 结果与讨论第38-43页
    4.3 多孔硅结构的刻蚀和修正工艺第43-52页
        4.3.1 前言第43-44页
        4.3.2 实验第44页
        4.3.3 结果与讨论第44-52页
    4.4 多孔硅在p型单晶硅太阳能电池上的应用及其电学性能第52-55页
        4.4.1 前言第52页
        4.4.2 实验第52-53页
        4.4.3 结果与讨论第53-55页
    4.5 多孔硅在p型多晶硅太阳能电池上的应用第55-60页
        4.5.1 前言第55-56页
        4.5.2 实验第56页
        4.5.3 结果与讨论第56-60页
    4.6 本章小结第60-63页
第五章 银催化腐蚀多孔硅制备在n型硅太阳电池上的应用第63-83页
    5.1 引言第63页
    5.2 n型硅表面银催化腐蚀多孔硅结构的制备与表征第63-66页
        5.2.1 前言第63-64页
        5.2.2 实验第64页
        5.2.3 结果与讨论第64-66页
    5.3 n型多孔硅硅片的刻蚀和修正工艺第66-70页
        5.3.1 前言第66页
        5.3.2 实验第66-67页
        5.3.3 结果与讨论第67-70页
    5.4 n+np多孔硅太阳能电池制备工艺及其电学性能第70-75页
        5.4.1 前言第70页
        5.4.2 实验第70-71页
        5.4.3 结果与讨论第71-75页
    5.5 n+np多孔硅太阳能电池的钝化工艺第75-81页
        5.5.1 前言第75页
        5.5.2 实验第75页
        5.5.3 结果和讨论第75-81页
    5.6 本章小结第81-83页
第六章 结论第83-85页
参考文献第85-91页
致谢第91-93页
个人简历第93-95页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第95页

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