摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第11-13页 |
第二章 文献综述 | 第13-31页 |
2.1 太阳能电池工作原理和制备工艺 | 第13-17页 |
2.1.1 太阳能电池工作原理 | 第13-14页 |
2.1.2 太阳能电池电学性能参数 | 第14-17页 |
2.2 太阳能电池的发展历史和趋势 | 第17-22页 |
2.3 晶硅太阳能电池减反射结构的研究进展 | 第22-29页 |
2.3.1 减反射结构在太阳能电池上的应用 | 第22-24页 |
2.3.2 多孔硅减反射结构在太阳能电池上的研究应用 | 第24-29页 |
2.4 本论文的研究内容和目的 | 第29-31页 |
第三章 实验 | 第31-37页 |
3.1 实验方案 | 第31-32页 |
3.1.1 银催化多孔硅制备在p型硅太阳电池上的应用 | 第31页 |
3.1.2 银催化多孔硅制备在n型硅太阳电池上的应用 | 第31-32页 |
3.1.3 本文创新点 | 第32页 |
3.2 实验设备 | 第32-34页 |
3.2.1 激光切片机 | 第32-33页 |
3.2.2 等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统 | 第33页 |
3.2.3 快速热处理(RTP)炉 | 第33-34页 |
3.3 测试设备 | 第34-37页 |
3.3.1 紫外可见吸收(透射)光谱仪(UV-VIS) | 第34-35页 |
3.3.2 少子寿命测试仪 | 第35页 |
3.3.3 扫描电子显微镜 | 第35页 |
3.3.4 太阳电池片效率分选机 | 第35-36页 |
3.3.5 太阳能电池量子效率测试系统 | 第36-37页 |
第四章 银催化多孔硅制备在p型硅太阳电池上的应用 | 第37-63页 |
4.1 引言 | 第37-38页 |
4.2 p型硅表面银催化腐蚀多孔硅结构的制备与表征 | 第38-43页 |
4.2.1 前言 | 第38页 |
4.2.2 实验 | 第38页 |
4.2.3 结果与讨论 | 第38-43页 |
4.3 多孔硅结构的刻蚀和修正工艺 | 第43-52页 |
4.3.1 前言 | 第43-44页 |
4.3.2 实验 | 第44页 |
4.3.3 结果与讨论 | 第44-52页 |
4.4 多孔硅在p型单晶硅太阳能电池上的应用及其电学性能 | 第52-55页 |
4.4.1 前言 | 第52页 |
4.4.2 实验 | 第52-53页 |
4.4.3 结果与讨论 | 第53-55页 |
4.5 多孔硅在p型多晶硅太阳能电池上的应用 | 第55-60页 |
4.5.1 前言 | 第55-56页 |
4.5.2 实验 | 第56页 |
4.5.3 结果与讨论 | 第56-60页 |
4.6 本章小结 | 第60-63页 |
第五章 银催化腐蚀多孔硅制备在n型硅太阳电池上的应用 | 第63-83页 |
5.1 引言 | 第63页 |
5.2 n型硅表面银催化腐蚀多孔硅结构的制备与表征 | 第63-66页 |
5.2.1 前言 | 第63-64页 |
5.2.2 实验 | 第64页 |
5.2.3 结果与讨论 | 第64-66页 |
5.3 n型多孔硅硅片的刻蚀和修正工艺 | 第66-70页 |
5.3.1 前言 | 第66页 |
5.3.2 实验 | 第66-67页 |
5.3.3 结果与讨论 | 第67-70页 |
5.4 n+np多孔硅太阳能电池制备工艺及其电学性能 | 第70-75页 |
5.4.1 前言 | 第70页 |
5.4.2 实验 | 第70-71页 |
5.4.3 结果与讨论 | 第71-75页 |
5.5 n+np多孔硅太阳能电池的钝化工艺 | 第75-81页 |
5.5.1 前言 | 第75页 |
5.5.2 实验 | 第75页 |
5.5.3 结果和讨论 | 第75-81页 |
5.6 本章小结 | 第81-83页 |
第六章 结论 | 第83-85页 |
参考文献 | 第85-91页 |
致谢 | 第91-93页 |
个人简历 | 第93-95页 |
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第95页 |