| 摘要 | 第13-15页 |
| ABSTRACT | 第15-16页 |
| 符号说明 | 第17-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-33页 |
| 1.1 电介质 | 第18-21页 |
| 1.1.1 介电性 | 第19页 |
| 1.1.2 压电性 | 第19-20页 |
| 1.1.3 热释电性 | 第20页 |
| 1.1.4 铁电性 | 第20-21页 |
| 1.2 铁电薄膜的制备 | 第21-24页 |
| 1.2.1 真空蒸镀法 | 第22页 |
| 1.2.2 溶胶-凝胶法( Sol-Gel) | 第22-23页 |
| 1.2.3 金属有机化学气相沉积法(MOCVD) | 第23页 |
| 1.2.4 脉冲激光沉积法(PLD) | 第23-24页 |
| 1.2.5 分子束外延技术(MBE) | 第24页 |
| 1.2.6 射频磁控溅射法(Magnetron Sputtering) | 第24页 |
| 1.3 铁电薄膜的晶体结构 | 第24-28页 |
| 1.3.1 钙钛矿型结构(perovskite structured) | 第25页 |
| 1.3.2 焦绿石型结构(pyrochlores structured) | 第25-26页 |
| 1.3.3 钨青铜型结构(tungsten-bronzes structured) | 第26页 |
| 1.3.4 铌酸锂型结构(ilmenites structured) | 第26页 |
| 1.3.5 铋层状结构(bismuth layer-structured) | 第26-27页 |
| 1.3.6 共生铋层状结构(intergrowth bismuth layer-structured) | 第27-28页 |
| 1.4 铁电薄膜的应用 | 第28-30页 |
| 1.4.1 铁电存储器的发展历史 | 第28-29页 |
| 1.4.2 铁电薄膜最佳厚度 | 第29页 |
| 1.4.3 疲劳问题 | 第29-30页 |
| 1.4.4 存储失效 | 第30页 |
| 1.5 研究目的与内容 | 第30-33页 |
| 1.5.1 本课题的研究目的 | 第30-31页 |
| 1.5.2 本课题的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第二章 压电陶瓷与薄膜的制备与表征 | 第33-41页 |
| 2.1 压电陶瓷和铁电薄膜的制备 | 第33-36页 |
| 2.1.1 压电陶瓷的制备 | 第33-35页 |
| 2.1.2 铁电薄膜的制备 | 第35-36页 |
| 2.2 物相结构和表面形貌表征与电学性能测试 | 第36-41页 |
| 2.2.1 晶体结构分析 | 第37页 |
| 2.2.2 表面形貌分析 | 第37-38页 |
| 2.2.3 介电性能测试 | 第38-39页 |
| 2.2.4 铁电性能测试 | 第39页 |
| 2.2.5 压电性能测试 | 第39-41页 |
| 第三章 Bi_5FeTi_3O_(15)系列压电陶瓷性能研究 | 第41-49页 |
| 3.1 实验过程 | 第41-42页 |
| 3.1.1 压电陶瓷的制备 | 第41页 |
| 3.1.2 压电陶瓷靶材的制备 | 第41-42页 |
| 3.2 压电陶瓷物相结构与表面形貌 | 第42-44页 |
| 3.3 介电性能 | 第44-46页 |
| 3.4 导电激活能计算 | 第46-47页 |
| 3.5 压电性能 | 第47-48页 |
| 3.6 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 不同基底生长的Bi_5FeTi_3O_(15)铁电薄膜性能研究 | 第49-68页 |
| 4.1 工艺参数的优化 | 第49-54页 |
| 4.1.1 工艺参数的优化 | 第49-52页 |
| 4.1.2 Si/Ti/Pt/BFTO异质结构铁电薄膜的性能研究 | 第52-54页 |
| 4.2 Si/YSZ/SRO/BFTO异质结构铁电薄膜性能研究 | 第54-61页 |
| 4.2.1 物相结构与表面形貌 | 第55-58页 |
| 4.2.2 介电性能 | 第58-60页 |
| 4.2.3 漏电流 | 第60-61页 |
| 4.3 MgO/SRO/BFTO异质结构铁电薄膜性能研究 | 第61-67页 |
| 4.3.1 物相结构与表面形貌 | 第61-64页 |
| 4.3.2 介电性 | 第64-65页 |
| 4.3.3 漏电流 | 第65-67页 |
| 4.4 小结 | 第67-68页 |
| 第五章 取向控制的Bi_5FeTi_3O_(15)铁电薄膜 | 第68-73页 |
| 5.1 物相结构与表面形貌 | 第68-70页 |
| 5.2 介电性能 | 第70-71页 |
| 5.3 漏电流及铁电性 | 第71-72页 |
| 5.4 小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 结论 | 第73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 6.3 主要创新点 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第85-86页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第86页 |
