| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-22页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第13-20页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3 论文研究内容和创新点 | 第22-23页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第23-25页 |
| 第二章 微等离子体基本理论 | 第25-35页 |
| 2.1 微等离子体基本概念 | 第25-27页 |
| 2.2 微等离子体放电技术 | 第27-31页 |
| 2.3 微波微等离子体拓扑结构 | 第31-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于微带谐振器的微波微等离子体线性阵列源 | 第35-63页 |
| 3.1 微带谐振器的工作原理 | 第35-36页 |
| 3.2 微带谐振器的特性参数及等效模型 | 第36-40页 |
| 3.2.1 微带谐振器的特性参数 | 第36-37页 |
| 3.2.2 微带谐振器的等效模型 | 第37-39页 |
| 3.2.3 微等离子体的等效模型 | 第39-40页 |
| 3.3 微波微等离子体线性阵列的产生 | 第40-45页 |
| 3.3.1 微波微等离子体线性阵列的产生原理 | 第40-41页 |
| 3.3.2 耦合模式理论(Coupled Mode Theory, CMT) | 第41-45页 |
| 3.4 微波微等离子体线性阵列源的结构仿真及实物制作 | 第45-62页 |
| 3.4.1 微波微等离子体线性阵列源的结构及实物测试 | 第45-48页 |
| 3.4.2 微波微等离子体线性阵列源的多模仿真及实物测试 | 第48-51页 |
| 3.4.3 聚四氟乙烯(PTFE)对微波微等离子体线性阵列源电场的影响 | 第51-62页 |
| 3.5 光谱分析技术 | 第62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 微波微等离子体线性阵列的实验与分析 | 第63-80页 |
| 4.1 实验系统及工作原理 | 第63-64页 |
| 4.2 微波微等离子体线性阵列的实验与分析 | 第64-73页 |
| 4.2.1 真空度对微波微等离子体线性阵列特性的影响 | 第65-70页 |
| 4.2.2 微波频率对微波微等离子体线性阵列特性的影响 | 第70-71页 |
| 4.2.3 输入功率对微波微等离子体线性阵列特性的影响 | 第71-73页 |
| 4.3 微波微等离子体线性阵列光谱分析与诊断 | 第73-78页 |
| 4.3.1 微波微等离子体线性阵列发射光谱的元素分析 | 第73-74页 |
| 4.3.2 微波微等离子体线性阵列的电子温度计算 | 第74-76页 |
| 4.3.3 微波微等离子体线性阵列的电子密度计算 | 第76-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 总结和工作展望 | 第80-82页 |
| 研究生期间发表论文 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
