基于改进PID算法的扩散炉温控系统
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-13页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-12页 |
| ·扩散炉发展现状 | 第11页 |
| ·温度控制系统发展现状 | 第11-12页 |
| ·研究内容和主要工作 | 第12-13页 |
| 2 扩散炉工艺及恒温控制特性 | 第13-21页 |
| ·扩散炉简介 | 第13-14页 |
| ·工艺原理 | 第14-18页 |
| ·扩散工艺原理 | 第15-17页 |
| ·氧化工艺原理 | 第17-18页 |
| ·恒温区特性 | 第18-20页 |
| ·扩散炉温度控制系统技术指标 | 第20页 |
| ·扩散炉温控系统的结构 | 第20-21页 |
| 3 扩散炉控温系统的控制策略 | 第21-35页 |
| ·PID 控制器 | 第21-25页 |
| ·模拟 PID 控制 | 第21-23页 |
| ·数字 PID 控制 | 第23-24页 |
| ·PID 控制的参数自整定 | 第24-25页 |
| ·模糊控制 | 第25-33页 |
| ·模糊控制器原理 | 第25-27页 |
| ·模糊 PID 控制在温控系统中的实现 | 第27-33页 |
| ·串级控制 | 第33页 |
| ·扩散炉温度控制系统设计 | 第33-34页 |
| ·仿真 | 第34-35页 |
| 4 温度控制系统硬件设计 | 第35-46页 |
| ·触摸屏 | 第35-36页 |
| ·PLC 可编程控制器 | 第36-38页 |
| ·I/0 点数统计及分析 | 第36-37页 |
| ·PLC 选型 | 第37页 |
| ·CP1H-XA40DT1-D 简介 | 第37-38页 |
| ·可控硅 | 第38-41页 |
| ·可控硅的工作原理 | 第38-39页 |
| ·触发电路设计 | 第39-41页 |
| ·温度检测电路 | 第41-46页 |
| ·热电偶的种类 | 第42页 |
| ·热电偶在扩散炉中的工作原理 | 第42-44页 |
| ·热电偶的冷端补偿 | 第44-46页 |
| 5 控制系统的软件实现 | 第46-54页 |
| ·上位机软件设计 | 第46-49页 |
| ·界面设计 | 第46-47页 |
| ·与下位机的通信 | 第47-49页 |
| ·下位机软件设计 | 第49-54页 |
| ·主程序 | 第49-50页 |
| ·模糊 PID 算法程序及控制功能 | 第50-52页 |
| ·PLC 串口通信 | 第52-54页 |
| 6 实验与测试 | 第54-58页 |
| ·800℃升温试验 | 第54-56页 |
| ·斜变升降温实验 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 作者简介 | 第61-62页 |
| 学位论文数据集 | 第62-63页 |
