高性能静压气浮运动系统热耦合分析及热误差控制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展现状 | 第9-10页 |
| ·论文主要的研究内容 | 第10-11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 2 高性能静压气浮转台结构及说明 | 第12-20页 |
| ·静压气浮转台结构 | 第12-13页 |
| ·静压气浮转台系统选型与设计 | 第13-15页 |
| ·电机选型 | 第13-14页 |
| ·编码器的选型 | 第14-15页 |
| ·控制系统设计 | 第15-17页 |
| ·静压气浮轴承的结构设计与说明 | 第17-19页 |
| ·静压气浮轴承的工作原理 | 第17-19页 |
| ·静压气浮轴承的生热机理 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 静压气浮转台系统热态特性有限元建模 | 第20-32页 |
| ·静压气浮转台系统热能传递的基本方式 | 第20-22页 |
| ·热传导 | 第20-21页 |
| ·热对流 | 第21页 |
| ·热辐射 | 第21-22页 |
| ·转台温度场的数学模型及温度场的有限单元法 | 第22-28页 |
| ·转台系统温度场数学模型 | 第22-24页 |
| ·转台系统温度场的有限单元法 | 第24-28页 |
| ·静压气浮转台系统热变形有限单元法 | 第28-29页 |
| ·热变形基本方程 | 第28页 |
| ·热变形的有限单元法 | 第28-29页 |
| ·高性能静压气浮转台有限元模型建立 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 静压气浮转台系统热特性分析与热误差控制 | 第32-48页 |
| ·ANSYS软件概述及分析过程 | 第32-34页 |
| ·ANSYS热分析的基本原理 | 第32-33页 |
| ·ANSYS热分析的基本步骤 | 第33-34页 |
| ·静压气浮转台系统的热源分析与参数计算 | 第34-38页 |
| ·转台的热源分析 | 第34-35页 |
| ·静压气浮转台系统相关参数的计算 | 第35-38页 |
| ·静压气浮转台系统的温度场分析 | 第38-41页 |
| ·稳态温度场的分析 | 第38-39页 |
| ·瞬态温度场的分析 | 第39-40页 |
| ·静压气浮转台热—结构耦合分析 | 第40-41页 |
| ·静压气浮转台热误差控制 | 第41-47页 |
| ·转台结构的优化 | 第42-44页 |
| ·散热条件的改善 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 静压气浮转台系统的热特性实验研究 | 第48-56页 |
| ·温度测量实验方案的设计 | 第48-53页 |
| ·实验器材介绍 | 第49-51页 |
| ·传感器的布置 | 第51-53页 |
| ·实验结果分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论与展望 | 第56-58页 |
| 结论 | 第56页 |
| 展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
