| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·曲面狭缝间接触压力监测问题 | 第9页 |
| ·接触压力检测技术 | 第9-15页 |
| ·狭缝间接触压力敏感技术 | 第9-13页 |
| ·狭缝间敏感信号的传输技术 | 第13-15页 |
| ·本文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 基于SAW器件的曲面狭缝间接触压力监测技术研究 | 第16-28页 |
| ·间接与直接 SAW 传感技术 | 第16-25页 |
| ·间接 SAW 传感技术 | 第17-20页 |
| ·延迟线型间接 SAW 传感技术 | 第17-19页 |
| ·谐振型间接 SAW 传感技术 | 第19-20页 |
| ·间接 SAW 传感技术中阻抗负载传感器研究 | 第20页 |
| ·直接 SAW 传感技术 | 第20-25页 |
| ·延迟线型直接 SAW 传感技术 | 第20-22页 |
| ·谐振型直接 SAW 传感技术 | 第22-23页 |
| ·直接 SAW 力敏传感技术研究 | 第23-25页 |
| ·曲面狭缝间接触压力监测的 SAW 传感技术方案 | 第25-28页 |
| ·间接 SAW 传感技术方案 | 第25-26页 |
| ·直接 SAW 传感技术方案 | 第26页 |
| ·狭缝间接触压力监测的直接 SAW 传感技术方案 | 第26-28页 |
| ·谐振型直接 SAW 接触压力传感器 | 第26-27页 |
| ·曲面狭缝间接触压力监测系统 | 第27-28页 |
| 第三章 谐振型直接SAW接触压力传感器的分析模型 | 第28-46页 |
| ·SAW 简介 | 第28-29页 |
| ·谐振型直接 SAW 力敏传感器的声传播特性分析模型 | 第29-34页 |
| ·多层结构基底的劲度矩阵 | 第30-32页 |
| ·广义格林函数与表面有效介电常数 | 第32-34页 |
| ·谐振型直接 SAW 力敏传感器的温度与压力灵敏度分析模型 | 第34-38页 |
| ·谐振型直接 SAW 力敏传感器的一阶温度系数 | 第34-35页 |
| ·谐振型直接 SAW 力敏传感器的一阶压力系数 | 第35-38页 |
| ·谐振型直接 SAW 力敏传感器的频率域分析模型 | 第38-46页 |
| ·COM 模型 | 第39-42页 |
| ·IDT 的 COM 方程 | 第39-40页 |
| ·COM 方程的 COM 参数 | 第40-42页 |
| ·单端 SAW 谐振器的 P 矩阵模型 | 第42-44页 |
| ·单端 SAW 谐振器的关键设计参数分析 | 第44-46页 |
| 第四章 谐振型直接SAW接触压力传感器制作工艺研究 | 第46-56页 |
| ·关键制作工艺 | 第46-55页 |
| ·单晶硅基底减薄 | 第46-47页 |
| ·ZnO 压电薄膜沉积 | 第47-49页 |
| ·SAW 谐振器制作 | 第49-52页 |
| ·基底表面准备 | 第49页 |
| ·金属薄膜沉积 | 第49-50页 |
| ·光刻 | 第50-51页 |
| ·剥离或者腐蚀 | 第51-52页 |
| ·支撑基底制作 | 第52-54页 |
| ·传感器封装 | 第54-55页 |
| ·谐振型直接 SAW 接触压力传感器制作的工艺流程 | 第55-56页 |
| 第五章 谐振型直接SAW接触压力传感器的分析与设计 | 第56-70页 |
| ·承压膜片尺寸设计 | 第56-58页 |
| ·基于 ZnO/Si 基底的谐振型直接 SAW 接触压力传感器设计 | 第58-66页 |
| ·ZnO/Si 基底中声传播特性分析 | 第58-61页 |
| ·ZnO/Si 基底中 Sezawa mode 的压力及温度灵敏度分析 | 第61-64页 |
| ·基于 ZnO/Si 基底的单端 SAW 谐振器设计 | 第64-66页 |
| ·基于 ZnO/SiO_2/Si 基底的谐振型直接 SAW 接触压力传感器设计 | 第66-70页 |
| ·ZnO/SiO_2/Si 基底中声传播特性分析 | 第66-67页 |
| ·ZnO/SiO_2/Si 基底中 Sezawa mode 的温度与压力灵敏度分析 | 第67-68页 |
| ·基于 ZnO/SiO_2/Si 基底的单端 SAW 谐振器设计 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 攻读硕士阶段取得的研究成果 | 第77-78页 |
