| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·FMCS 系统概述 | 第10-11页 |
| ·FMCS 系统设计目标 | 第10页 |
| ·FMCS 系统功能 | 第10页 |
| ·FMCS 系统设计原则 | 第10-11页 |
| ·FMCS 系统的网络构成 | 第11页 |
| ·节能型功率电子器件用抛光片产业化项目 FMCS 系统简介 | 第11-12页 |
| ·FMCS 控制系统所遇到的难题 | 第12-13页 |
| 第二章 FMCS 系统控制原理 | 第13-27页 |
| ·FMCS 控制系统控制原理 | 第13-14页 |
| ·FMCS 控制系统控制范围 | 第14-27页 |
| ·二层洁净室新风空调控制 | 第15-16页 |
| ·洁净室温度控制以及温湿度、压力监视 | 第16-17页 |
| ·排烟/排风空调机组控制 | 第17-18页 |
| ·一层化学品间新风空调控制，以及化学品间负压控制 | 第18-19页 |
| ·一层电气间循环风空调控制 | 第19页 |
| ·办公区新风空调控制 | 第19-20页 |
| ·PCW（工艺冷却水）控制 | 第20-21页 |
| ·中温水混水站控制 | 第21-22页 |
| ·热水控制 | 第22-23页 |
| ·深井水补水系统 | 第23-24页 |
| ·CDA（压缩空气）系统 | 第24-26页 |
| ·其它系统监控 | 第26-27页 |
| 第三章 PLC 控制原理与实现 | 第27-37页 |
| ·PLC 控制系统概述 | 第27页 |
| ·PLC 的应用现状 | 第27页 |
| ·PLC 控制系统的特点 | 第27页 |
| ·控制点表 | 第27-28页 |
| ·PLC 的选取及介绍 | 第28-30页 |
| ·PLC 的选型 | 第28-29页 |
| ·PLC 选型介绍 | 第29-30页 |
| ·PLC 的硬件配置 | 第30页 |
| ·PLC 电气控制柜制作 | 第30-32页 |
| ·PLC 设计与实现 | 第32-36页 |
| ·PLC 主要应用模块 | 第32-33页 |
| ·PLC 主要流程图 | 第33-36页 |
| ·PLC 主程序 | 第36页 |
| ·PLC 联机调试 | 第36-37页 |
| ·测试内容 | 第36页 |
| ·测试计划 | 第36-37页 |
| 第四章 上位机系统的设计与实现 | 第37-72页 |
| ·上位机系统概述 | 第37页 |
| ·上位机自控管理系统的应用 | 第37-38页 |
| ·锅炉自控 | 第37-38页 |
| ·配电监控 | 第38页 |
| ·污水处理厂上位机管理 | 第38页 |
| ·中央空调上位机自控 | 第38页 |
| ·水利系统上位机管理 | 第38页 |
| ·热力系统调度管理 | 第38页 |
| ·工业生产自控管理 | 第38页 |
| ·IFIX 软件介绍 | 第38-39页 |
| ·IFIX3.5 系统要求 | 第39页 |
| ·IFIX 技术优势 | 第39页 |
| ·IFIX 上位机系统设计 | 第39-47页 |
| ·IFIX 上位机系统结构 | 第39-40页 |
| ·IFIX 上位机系统编写流程 | 第40-47页 |
| ·系统最终界面设计 | 第47-65页 |
| ·主页面 | 第47-48页 |
| ·CDA（压缩空气）系统 | 第48-49页 |
| ·PCW（工艺冷却水系统） | 第49-51页 |
| ·深水井补水系统 | 第51页 |
| ·排风系统 | 第51-54页 |
| ·动力系统 | 第54-57页 |
| ·空调系统 | 第57-63页 |
| ·历史报警查看框 | 第63-64页 |
| ·设备状态报表 | 第64-65页 |
| ·实时报警统计 | 第65页 |
| ·IHISTORIAN 数据库软件介绍 | 第65-71页 |
| ·IHISTORIAN 数据库 | 第66-68页 |
| ·IHISTORIAN 数据库配置 | 第68页 |
| ·IHISTORIAN 数据库归档文件记录数据部成功的解决办法 | 第68-69页 |
| ·服务器 SCADA 的任务控制 | 第69-71页 |
| ·IFIX 系统操作要求 | 第71-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录1：I/O 点表目录 | 第76-91页 |
| 附录2：PLC 主程序 | 第91-99页 |