中文摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-10页 |
第一章 绪论 | 第10-18页 |
·引言 | 第10页 |
·石墨烯(graphene)的基本性质 | 第10-11页 |
·化学气相沉积(CVD)生长石墨烯的研究进展 | 第11-14页 |
·在 Ni 金属衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展 | 第11-13页 |
·在 Cu 金属衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展 | 第13-14页 |
·在氧化物(Oxide)衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展 | 第14-15页 |
·本论文研究的内容 | 第15-16页 |
参考文献 | 第16-18页 |
第二章 石墨烯薄膜的检测及性能测试方法 | 第18-26页 |
·拉曼光谱在石墨烯中的应用 | 第18-20页 |
·扫描电子显微镜测量 | 第20页 |
·光学显微镜 | 第20-21页 |
·原子力显微镜(AFM) | 第21-22页 |
·方块电阻分析 四探针测试法 | 第22-24页 |
·光学性能的测量 | 第24-25页 |
参考文献 | 第25-26页 |
第三章 在镍(Ni)衬底表面 CVD 生长石墨烯 | 第26-39页 |
·镍(Ni)金属衬底表面的等离子体处理 | 第26-27页 |
·石墨烯在镍(Ni)金属表面的生长及转移 | 第27-36页 |
·生长石墨烯的化学气相沉积(CVD)系统 | 第27-28页 |
·石墨烯在金属镍(Ni)上的生长机制 | 第28页 |
·从镍(Ni)表面转移石墨烯的过程 | 第28-30页 |
·石墨烯的生长过程 | 第30-36页 |
参考文献 | 第36-39页 |
第四章 在铜(Cu)衬底表面 CVD 生长石墨烯 | 第39-48页 |
·铜(Cu)金属衬底表面的等离子处理和酸化处理 | 第39-40页 |
·石墨烯在铜(Cu)金属表面的生长及转移 | 第40-46页 |
·石墨烯在铜金属表面的生长机制 | 第40页 |
·生长石墨烯的热壁化学气相沉积系统(Hot-wall CVD) | 第40-41页 |
·从铜(Cu)表面转移石墨烯的过程 | 第41-42页 |
·石墨烯在铜表面的生长 | 第42-44页 |
·铜上石墨烯生长的结果 | 第44-46页 |
参考文献 | 第46-48页 |
第五章 在氧化物(Oxide)衬底表面 CVD 生长石墨烯及生长机理探索 | 第48-51页 |
·石墨烯在氧化物衬底上直接生长的意义 | 第48页 |
·石墨烯在石英衬底上的生长过程 | 第48-49页 |
·结果与讨论 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-51页 |
第六章 总结和展望 | 第51-53页 |
硕士期间主要研究成果 | 第53-54页 |
致谢 | 第54页 |