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化学气相沉积(CVD)生长高质量的石墨烯及其性能的研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·引言第10页
   ·石墨烯(graphene)的基本性质第10-11页
   ·化学气相沉积(CVD)生长石墨烯的研究进展第11-14页
     ·在 Ni 金属衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展第11-13页
     ·在 Cu 金属衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展第13-14页
   ·在氧化物(Oxide)衬底表面 CVD 生长石墨烯的研究进展第14-15页
   ·本论文研究的内容第15-16页
 参考文献第16-18页
第二章 石墨烯薄膜的检测及性能测试方法第18-26页
   ·拉曼光谱在石墨烯中的应用第18-20页
   ·扫描电子显微镜测量第20页
   ·光学显微镜第20-21页
   ·原子力显微镜(AFM)第21-22页
   ·方块电阻分析 四探针测试法第22-24页
   ·光学性能的测量第24-25页
 参考文献第25-26页
第三章 在镍(Ni)衬底表面 CVD 生长石墨烯第26-39页
   ·镍(Ni)金属衬底表面的等离子体处理第26-27页
   ·石墨烯在镍(Ni)金属表面的生长及转移第27-36页
     ·生长石墨烯的化学气相沉积(CVD)系统第27-28页
     ·石墨烯在金属镍(Ni)上的生长机制第28页
     ·从镍(Ni)表面转移石墨烯的过程第28-30页
     ·石墨烯的生长过程第30-36页
 参考文献第36-39页
第四章 在铜(Cu)衬底表面 CVD 生长石墨烯第39-48页
   ·铜(Cu)金属衬底表面的等离子处理和酸化处理第39-40页
   ·石墨烯在铜(Cu)金属表面的生长及转移第40-46页
     ·石墨烯在铜金属表面的生长机制第40页
     ·生长石墨烯的热壁化学气相沉积系统(Hot-wall CVD)第40-41页
     ·从铜(Cu)表面转移石墨烯的过程第41-42页
     ·石墨烯在铜表面的生长第42-44页
     ·铜上石墨烯生长的结果第44-46页
 参考文献第46-48页
第五章 在氧化物(Oxide)衬底表面 CVD 生长石墨烯及生长机理探索第48-51页
   ·石墨烯在氧化物衬底上直接生长的意义第48页
   ·石墨烯在石英衬底上的生长过程第48-49页
   ·结果与讨论第49-50页
 参考文献第50-51页
第六章 总结和展望第51-53页
硕士期间主要研究成果第53-54页
致谢第54页

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