| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 1 绪论 | 第13-18页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第14-16页 |
| ·国内研究现状及分析 | 第14-15页 |
| ·国外研究现状及分析 | 第15-16页 |
| ·课题研究的主要内容及设计目标 | 第16-17页 |
| ·论文的章节安排 | 第17-18页 |
| 2 玻璃镀膜控制系统的总体方案设计 | 第18-50页 |
| ·玻璃镀膜的工艺方法 | 第18-22页 |
| ·玻璃镀膜的相关工艺原理 | 第18-20页 |
| ·真空磁控溅射法的原理 | 第20-22页 |
| ·磁控溅射法的工艺流程 | 第22-23页 |
| ·玻璃镀膜系统的功能分析 | 第23-25页 |
| ·控制系统的总体设计方案 | 第25-50页 |
| ·磁控溅射子系统 | 第25-30页 |
| ·真空抽气子系统 | 第30-35页 |
| ·工艺配气子系统 | 第35-36页 |
| ·伺服传动子系统 | 第36-50页 |
| 3 模糊自适应PID控制器在玻璃镀膜控制系统中的改进 | 第50-62页 |
| ·PID控制算法及实现 | 第50-52页 |
| ·PID算法原理 | 第50-51页 |
| ·PID参数整定规则 | 第51-52页 |
| ·模糊自适应PID控制器的设计 | 第52-56页 |
| ·模糊控制原理 | 第52-53页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第53-54页 |
| ·模糊自适应PID控制器的原理 | 第54-56页 |
| ·玻璃镀膜控制系统模糊自适应PID控制器的设计 | 第56-62页 |
| 4 玻璃镀膜控制系统的硬件组态和网络分布 | 第62-72页 |
| ·S7-400系列PLC的结构和系统的硬件组态 | 第62-65页 |
| ·西门子S7-400系列PLC | 第62-64页 |
| ·系统的硬件组态 | 第64-65页 |
| ·系统的网络分布 | 第65-72页 |
| ·工业以太网 | 第65-67页 |
| ·PROFIBUS现场总线 | 第67-68页 |
| ·玻璃镀膜系统的网络结构 | 第68-72页 |
| 5 玻璃镀膜控制系统的软件设计 | 第72-96页 |
| ·基于S7-400的下位机软件系统的设计 | 第72-85页 |
| ·STEP-7的开发环境介绍 | 第72-73页 |
| ·伺服传动子系统的软件设计 | 第73-78页 |
| ·真空抽气子系统的软件设计 | 第78-80页 |
| ·磁控溅射子系统的软件设计 | 第80-81页 |
| ·模糊控制自适应PID算法的软件设计 | 第81-85页 |
| ·基于WinCC的上位机软件系统的设计 | 第85-96页 |
| ·WinCC6.2开发环境介绍 | 第85-87页 |
| ·系统总览界面的组态设计 | 第87-88页 |
| ·各控制区界面的组态设计 | 第88-89页 |
| ·阴极电源界面的组态设计 | 第89-94页 |
| ·系统历史曲线界面的组态设计 | 第94-96页 |
| 6 论文总结与展望 | 第96-98页 |
| ·全文总结 | 第96-97页 |
| ·对系统发展趋势的展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第102页 |