脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜及其光学性质的研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-7页
致谢	第7-11页
第一章 绪论	第11-17页
·ZnO的基本性质、结构和应用	第11-16页
·国内外研究进展和本人所做工作	第16-17页
第二章 ZnO薄膜制备与实验	第17-25页
·薄膜生长过程及制备方法	第17-21页
·电子束蒸发	第18-19页
·分子束外延(MBE)	第19-20页
·磁控溅射法	第20页
·溶胶—凝胶法(sol-gel)	第20-21页
·薄膜氧化法	第21页
·PLD法制备ZnO薄膜	第21-25页
·脉冲激光沉积工艺简介	第21-23页
·实验设备及实验过程	第23-25页
第三章 ZnO薄膜的生长与表征	第25-48页
·薄膜的生长过程	第25-26页
·ZnO薄膜的XRD研究	第26-31页
·XRD理论原理	第26-28页
·样品的XRD测试分析	第28-31页
·样品表面形貌的表征方法	第31-44页
·原子力显微镜(AFM)的原理	第31-33页
·衬底温度对样品表面形貌的影响的AFM研究	第33-38页
·氧压对样品表面形貌的影响的AFM研究	第38-44页
·扫描电子显微镜(SEM)的原理	第44页
·ZnO薄膜的生长机理的研究	第44-48页
第四章 ZnO薄膜的光学性质的研究	第48-61页
·ZnO薄膜的光致发光特性	第48-55页
·ZnO的发光机制	第48-50页
·不同的制备条件对ZnO薄膜光致发光特性的影响	第50-54页
·Mg掺杂ZnO薄膜的PL谱研究	第54-55页
·椭偏法测量ZnO薄膜的光学常数	第55-61页
·椭圆偏振光谱测量的基本原理	第55-58页
·不同衬底温度下制备ZnO薄膜的光学常数研究	第58-61页
第五章 结论	第61-62页
参考文献	第62-67页
攻读硕士期间发表的论文	第67页