| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·本课题的研究背景和意义 | 第11-12页 |
| ·电容耦合型等离子体源的发展现状 | 第12-14页 |
| ·本论文研究内容和创新之处 | 第14-15页 |
| 第二章 低温等离子体技术 | 第15-24页 |
| ·等离子体相关概念 | 第15-16页 |
| ·等离子体定义、温度、密度、电离度 | 第15-16页 |
| ·等离子体德拜屏蔽 | 第16页 |
| ·等离子体频率(郎缪尔频率) | 第16页 |
| ·低温等离子体技术 | 第16-23页 |
| ·等离子体发生技术—气体放电基本理论 | 第17-19页 |
| ·直流辉光放电 | 第19页 |
| ·射频等离子体放电 | 第19-20页 |
| ·射频放电阻抗匹配 | 第20-22页 |
| ·微波放电 | 第22-23页 |
| ·总结 | 第23-24页 |
| 第三章 微带线与微带线谐振器理论 | 第24-35页 |
| ·微带线基本理论 | 第24-29页 |
| ·微带线传输准TEM波 | 第24-25页 |
| ·微带线准静态分析法 | 第25-27页 |
| ·微带线的损耗 | 第27-29页 |
| ·微带线谐振器 | 第29-34页 |
| ·短路λ/2线型谐振器 | 第29-30页 |
| ·开路λ/2线型谐振器 | 第30-31页 |
| ·λ/4线型谐振器 | 第31页 |
| ·微带线谐振器设计和品质因数 | 第31-34页 |
| ·总结 | 第34-35页 |
| 第四章 微带缝环谐振器微波等离子体源传输线分析方法—等效电路分析、等离子体阻抗、功率效率计算 | 第35-45页 |
| ·基于微带缝环谐振器的微波等离子体源(MSRR-MIP s) | 第35页 |
| ·缝环谐振器传输线模型 | 第35-44页 |
| ·缝环谐振器工作模式—第一谐振奇模 | 第36-38页 |
| ·输入阻抗 | 第38-39页 |
| ·无载时缝隙两端电压 | 第39-40页 |
| ·等离子体阻抗 | 第40-42页 |
| ·功率效率 | 第42-44页 |
| ·总结 | 第44-45页 |
| 第五章 微带缝环谐振器微波等离子体源的研制 | 第45-58页 |
| ·设计目标、选择工作频率、介质基板 | 第45-47页 |
| ·微带缝环谐振器的选择 | 第45-46页 |
| ·介质基板、微带环特性阻抗等的选择 | 第46-47页 |
| ·微带环缝谐振器的各结构参数设计 | 第47-50页 |
| ·结构参数设计方法 | 第47页 |
| ·两种不同结构微带缝环谐振器的设计 | 第47-48页 |
| ·有阻抗变换段的缝环谐振器设计 | 第48-49页 |
| ·直接馈电缝环谐振器设计 | 第49-50页 |
| ·缝环谐振器软件仿真 | 第50-57页 |
| ·仿真软件简介 | 第50-51页 |
| ·有阻抗变换段的缝环谐振器仿真结果 | 第51-55页 |
| ·直接馈电缝环谐振器仿真结果 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第57-58页 |
| 第六章 实验系统与等离子体激励 | 第58-64页 |
| ·环隙谐振器实物制作及参数测量 | 第58-60页 |
| ·实验系统 | 第60-61页 |
| ·实验描述 | 第61-63页 |
| ·结果和讨论 | 第63-64页 |
| 第七章 结束语 | 第64-65页 |
| 一、论文工作总结: | 第64页 |
| 二、进一步工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者研究生期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |