| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 1 绪论 | 第6-18页 |
| ·概述 | 第6-10页 |
| ·课题研究的目的、意义与方法 | 第10-13页 |
| ·本课题的研究现状 | 第13-16页 |
| ·本文内容简介和结构安排 | 第16-18页 |
| 2 物理模型和数值方法 | 第18-26页 |
| ·物理模型 | 第18-22页 |
| ·数值方法 | 第22-26页 |
| 3 模拟结果与分析 | 第26-40页 |
| ·射频鞘层区中电势和离子(电子)密度的时空分布 | 第26-28页 |
| ·射频频率对等离子体鞘层区离子输运特性的影响 | 第28-32页 |
| ·等离子体密度对射频鞘层区离子输运特性的影响 | 第32-34页 |
| ·射频功率对等离子体鞘层区离子输运特性的影响 | 第34-37页 |
| ·电子温度对等离子体鞘层区离子输运特性的影响 | 第37-40页 |
| 4 本文结论与展望 | 第40-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表和完成的论文 | 第48页 |