硅基纳米湿敏元件特性、机理研究及其测试仪设计
| 0 前言 | 第1-8页 |
| 1 湿度传感器及感湿机理 | 第8-22页 |
| ·湿度传感器的研究及发展 | 第8-14页 |
| ·传感器的定义及组成 | 第8页 |
| ·湿度及表示方法 | 第8-9页 |
| ·湿度传感器的特征参数 | 第9-11页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第11-13页 |
| ·湿度传感器的应用及发展 | 第13-14页 |
| ·纳米材料在湿度传感器的应用 | 第14-15页 |
| ·硅衬底上制作湿敏元件的意义、方法及研究状况 | 第15页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的研究基础 | 第15-16页 |
| ·感湿机理的一般理论、研究意义及研究方法 | 第16-20页 |
| ·不同湿敏材料的感湿机理 | 第16-19页 |
| ·湿敏元件感湿机理分析的一般方法 | 第19-20页 |
| ·湿度传感器的应用电路 | 第20-22页 |
| ·湿度传感器应用电路的特点 | 第20页 |
| ·湿度传感器应用电路的部分种类及发展 | 第20-22页 |
| 2 硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件的测试及性能讨论 | 第22-30页 |
| ·元件的制备及测试 | 第22-23页 |
| ·元件的制备 | 第22页 |
| ·元件的测试 | 第22-23页 |
| ·湿敏元件特性及分析 | 第23-29页 |
| ·灵敏度 | 第23页 |
| ·湿滞 | 第23-24页 |
| ·阻抗特性 | 第24-25页 |
| ·电容特性 | 第25-26页 |
| ·电压特性 | 第26页 |
| ·响应-恢复时间 | 第26-27页 |
| ·复阻抗特性 | 第27-29页 |
| ·结论 | 第29-30页 |
| 3 用复阻抗法分析纳米钛酸钡的感湿机理 | 第30-44页 |
| ·研究湿敏材料的感湿机理是重要的科研课题之一 | 第30-32页 |
| ·湿敏元件感湿机理分析的一般方法 | 第32页 |
| ·复阻抗法分析的基本原理 | 第32-33页 |
| ·典型理想等效电路的复阻抗特性 | 第33-37页 |
| ·简单等效电路 | 第33-34页 |
| ·复杂等效电路 | 第34-37页 |
| ·几点说明 | 第37页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的等效电路的确定 | 第37-42页 |
| ·初步确定等效电路 | 第37-38页 |
| ·等效电路分析系统 | 第38-39页 |
| ·初步确定的等效电路的复阻抗曲线 | 第39-41页 |
| ·等效电路的复阻抗图与实验测量的复阻抗图的比较 | 第41-42页 |
| ·等效电路对阻抗和电容特性图的解释 | 第42页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理的讨论 | 第42-44页 |
| 4 基于纳米钛酸钡感湿芯片的湿度测试仪设计 | 第44-52页 |
| ·感湿元件的实验特性及湿度测试仪的特点 | 第44页 |
| ·系统硬件部分 | 第44-47页 |
| ·系统硬件的组成及电路 | 第44-45页 |
| ·交直流转换电路 | 第45-46页 |
| ·电路选用芯片MAX187的操作特性 | 第46-47页 |
| ·电路选用芯片MAX7219的操作特性 | 第47页 |
| ·系统软件部分 | 第47-50页 |
| ·主程序流程 | 第47-48页 |
| ·程控放大子程序 | 第48-49页 |
| ·线性校正及查表子程序 | 第49-50页 |
| ·测试结果 | 第50-51页 |
| ·结束语 | 第51-52页 |
| 5 结论和展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 研究生期间发表论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录 湿度测试仪硬件电路PCB版图 | 第58-60页 |
