15CrMnMoVA钢磁控溅射镀铝耐腐蚀性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| Contents | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·Al薄膜研究背景及现状 | 第14-16页 |
| ·研究背景 | 第14-15页 |
| ·研究现状 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第16-21页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第17-19页 |
| ·溅射镀膜分类 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射 | 第20-21页 |
| ·Al薄膜的性能 | 第21-23页 |
| ·良好的耐腐蚀性 | 第21-22页 |
| ·优良的导电性 | 第22页 |
| ·良好的光学性 | 第22页 |
| ·良好的经济效益 | 第22-23页 |
| ·Al薄膜复合工艺 | 第23-24页 |
| ·本课题的研究内容与研究路线 | 第24-26页 |
| 第二章 实验方法 | 第26-35页 |
| ·实验材料、试剂、仪器 | 第26页 |
| ·实验基体材料 | 第26页 |
| ·其它材料、试剂、仪器 | 第26页 |
| ·Al薄膜的制备 | 第26-29页 |
| ·基片的预处理工艺 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射Al膜装置 | 第27-28页 |
| ·磁控溅射Al膜的制备 | 第28-29页 |
| ·化学转化 | 第29-30页 |
| ·Al薄膜性能测试 | 第30-35页 |
| ·薄膜表面与截面形貌分析 | 第30-31页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第31-32页 |
| ·附着性能测试 | 第32页 |
| ·X射线衍射分析 | 第32-33页 |
| ·能谱分析 | 第33页 |
| ·中性盐雾试验 | 第33页 |
| ·电化学性能分析 | 第33-35页 |
| 第三章 Al薄膜制备正交实验 | 第35-43页 |
| ·耐中性盐雾性能分析 | 第35页 |
| ·电化学性能分析 | 第35-38页 |
| ·Al薄膜性能分析 | 第38-42页 |
| ·形貌结构分析 | 第38-39页 |
| ·耐中性盐雾性能分析 | 第39-40页 |
| ·电化学性能分析 | 第40-41页 |
| ·附着性能分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 沉积参数对Al薄膜性能的影响 | 第43-59页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·不同靶电流下Al薄膜的性能 | 第43-48页 |
| ·Al薄膜的表面及截面形貌 | 第44-46页 |
| ·Al薄膜的耐中性盐雾性能 | 第46-47页 |
| ·Al薄膜的电化学性能 | 第47-48页 |
| ·不同负偏压下Al薄膜的性能 | 第48-53页 |
| ·Al薄膜的表面及截面形貌 | 第49-50页 |
| ·Al薄膜的相结构特点 | 第50-51页 |
| ·Al薄膜的耐中性盐雾性能 | 第51-52页 |
| ·Al薄膜的电化学性能 | 第52-53页 |
| ·不同炉压下Al薄膜的性能 | 第53-58页 |
| ·Al薄膜的表面及截面形貌 | 第53-55页 |
| ·Al薄膜的耐中性盐雾性能 | 第55-57页 |
| ·Al薄膜的电化学性能 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 化学转化后处理对Al薄膜性能的影响 | 第59-70页 |
| ·化学转化工艺参数 | 第59页 |
| ·溶液浓度对薄膜性能的影响 | 第59-64页 |
| ·表面及截面形貌图 | 第59-61页 |
| ·电化学性能 | 第61-62页 |
| ·耐中性盐雾性能 | 第62-64页 |
| ·反应时间对薄膜性能的影响 | 第64-68页 |
| ·表面和截面形貌图 | 第64-66页 |
| ·电化学性能 | 第66-67页 |
| ·耐中性盐雾性能 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 结论与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 学位期间发表论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
