石英微陀螺结构优化与制造工艺研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·MEMS陀螺的发展概况 | 第12-13页 |
| ·石英微陀螺的发展 | 第13-19页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·石英微陀螺发展趋势 | 第17-19页 |
| ·石英微陀螺制造技术概况 | 第19-20页 |
| ·本文研究的内容、目的和意义 | 第20-21页 |
| 第二章 石英微陀螺的工作原理与结构优化 | 第21-30页 |
| ·石英微陀螺工作原理 | 第21-25页 |
| ·哥氏效应 | 第21-22页 |
| ·石英微陀螺的工作原理 | 第22-25页 |
| ·石英微陀螺结构优化 | 第25-29页 |
| ·石英微陀螺结构尺寸参数 | 第25-26页 |
| ·有限元分析 | 第26-28页 |
| ·ANSYS优化参数 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 石英微陀螺制造工艺研究 | 第30-51页 |
| ·石英微陀螺的工艺方案设计 | 第30-32页 |
| ·石英微陀螺制造工艺 | 第32-49页 |
| ·选料与清洗 | 第32-34页 |
| ·镀制掩模层 | 第34-39页 |
| ·双面对准光刻 | 第39-41页 |
| ·湿法腐蚀 | 第41-46页 |
| ·镀制电极 | 第46-48页 |
| ·装配封装 | 第48-49页 |
| ·结构样件的评测 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 石英微陀螺加工误差分析 | 第51-57页 |
| ·加工误差来源 | 第51-53页 |
| ·切向误差 | 第51页 |
| ·晶向对准误差 | 第51-52页 |
| ·双面对准误差 | 第52页 |
| ·侧壁晶棱误差 | 第52-53页 |
| ·湿法腐蚀误差 | 第53页 |
| ·电极对准误差 | 第53页 |
| ·加工误差的影响 | 第53-55页 |
| ·机械耦合误差 | 第53-55页 |
| ·频率偏移 | 第55页 |
| ·加工误差的修正 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 石英微陀螺的性能测试 | 第57-61页 |
| ·振动模态测试 | 第57-58页 |
| ·哥氏力测试 | 第58-59页 |
| ·刻度因子、非线性度测试 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·全文总结 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第68页 |
