| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·激光与物质相互作用在实际中的应用 | 第11-13页 |
| ·激光与物质相互作用的研究背景 | 第13-14页 |
| ·半导体材料HgCdTe 和 Si 的研究意义及研究进展 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要内容及安排 | 第15-16页 |
| 第二章 准分子激光的特点及其损伤机理 | 第16-21页 |
| ·准分子激光器的激光光束分析 | 第16-17页 |
| ·准分子激光的传输特性 | 第17-19页 |
| ·准分子激光与材料相互作用机理 | 第19-21页 |
| 第三章 激光与固体靶相互作用的理论基础和靶材料性质的分析 | 第21-31页 |
| ·激光与材料作用的过程与机理 | 第21页 |
| ·热传导理论 | 第21-24页 |
| ·激光与固体靶相互作用的一维热传导理论 | 第24页 |
| ·靶材参数对激光和物质作用的影响 | 第24-31页 |
| 第四章 不同波长激光对 HgCdTe 损伤机理的比较 | 第31-41页 |
| ·实验装置和实验方法 | 第31-32页 |
| ·不同波长的激光烧蚀形貌比较 | 第32-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 第五章 准分子激光对半导体材料 HgCdTe 和 Si 的损伤实验比较 | 第41-51页 |
| ·激光辐照区表面损伤形貌的对比分析 | 第41-43页 |
| ·激光辐照区边缘的对比分析 | 第43-45页 |
| ·激光辐照区底部的对比分析 | 第45-46页 |
| ·激光辐照区周期性结构的对比分析 | 第46-48页 |
| ·损伤机理分析 | 第48-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 第六章 HgCdTe 激光等离子体发射谱的产生机制和时间演化特性 | 第51-61页 |
| ·实验装置 | 第51-53页 |
| ·实验结果分析 | 第53-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第七章 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间完成的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
