| 中文摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-18页 |
| ·激光与物质相互作用在实际中的应用 | 第12-13页 |
| ·激光与物质相互作用的研究背景 | 第13-15页 |
| ·半导体材料Si 的研究意义及研究进展 | 第15-17页 |
| ·本论文的主要内容及安排 | 第17-18页 |
| 第二章 Si 激光等离子体发射谱的时间演化特性及其产生机制的分析 | 第18-36页 |
| ·等离子体基本理论 | 第18-23页 |
| ·等离子体的特性 | 第18-19页 |
| ·激光等离子体的产生机制 | 第19-20页 |
| ·等离子体辐射机制 | 第20-22页 |
| ·等离子体对激光的吸收机制 | 第22-23页 |
| ·实验装置和方法 | 第23-24页 |
| ·结果和讨论 | 第24-36页 |
| ·连续谱的时间演化及产生机制 | 第24-31页 |
| ·特征谱分析 | 第31-34页 |
| ·空气等离子体的产生机制 | 第34-36页 |
| 第三章 激光等离子体电子密度和温度随时间演化的规律 | 第36-48页 |
| ·电子密度的诊断 | 第36-38页 |
| ·等离子体的电子密度 | 第38-42页 |
| ·电子温度的诊断 | 第42-45页 |
| ·等离子体的电子温度 | 第45-48页 |
| 第四章 激光等离子体光谱展宽和频移的分析 | 第48-59页 |
| ·谱线的展宽机制 | 第48-56页 |
| ·自然展宽 | 第48-50页 |
| ·多普勒展宽 | 第50-51页 |
| ·Stark 展宽 | 第51页 |
| ·仪器加宽 | 第51-52页 |
| ·Si 等离子体谱线的展宽实验结果分析及主要展宽机制分析 | 第52-56页 |
| ·发射光谱线的频移机制 | 第56-59页 |
| 第五章 激光等离子体膨胀速度的实验和理论研究 | 第59-66页 |
| ·等离子体膨胀速度的实验测量 | 第59-63页 |
| ·时间飞行谱的分析 | 第59-61页 |
| ·等离子体的膨胀速度 | 第61-63页 |
| ·等离子体速度的理论计算 | 第63-66页 |
| ·理论模型 | 第63-64页 |
| ·计算结果与分析 | 第64-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间完成的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
