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双阴极等离子溅射沉积Nb2N涂层及其性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第11-29页
    1.1 研究背景第11-12页
    1.2 钛合金实际应用中存在的问题第12-14页
        1.2.1 钛合金的耐磨损性能第12-13页
        1.2.2 钛合金的高温氧化性能第13-14页
        1.2.3 钛合金的耐腐蚀性能第14页
    1.3 钛合金表面改性方法第14-18页
        1.3.1 电镀第14-15页
        1.3.2 化学气相沉积第15页
        1.3.3 物理气相沉积第15-16页
        1.3.4 激光表面处理第16页
        1.3.5 离子注入法第16-17页
        1.3.6 表面氮化技术第17-18页
        1.3.7 双阴极等离子溅射沉积法第18页
    1.4 双阴极等离子溅射沉积技术基本原理第18-22页
        1.4.1 双阴极等离子溅射沉积法优缺点第20-21页
        1.4.2 双阴极等离子溅射沉积法的应用第21-22页
    1.5 氮化铌薄膜材料的研究与进展第22-25页
        1.5.1 氮化铌薄膜的超导性能及超导领域的应用第22-23页
        1.5.2 氮化铌的薄膜的物理性能及应用第23-24页
        1.5.3 氮化铌薄膜的电化学性能及应用第24-25页
    1.6 课题的提出第25页
    1.7 课题的研究内容第25-26页
    1.8 课题研究的意义第26-29页
第2章 实验材料与实验方案第29-41页
    2.1 实验材料的选择第29-30页
    2.2 实验参数的选择第30-32页
    2.3 分析方法及手段第32-41页
        2.3.1 涂层微观组织分析第32-33页
        2.3.2 涂层的硬度及韧性测试分析第33-34页
        2.3.3 涂层与钛合金基体的结合力测试第34-36页
        2.3.4 涂层的磨损性能测试第36-37页
        2.3.5 涂层的耐腐蚀性能测试第37-41页
第3章 涂层物相及微观组织分析第41-47页
    3.1 涂层的表面形貌第41页
    3.2 涂层的表面SEM分析第41-42页
    3.3 涂层XRD结果分析第42-43页
    3.4 涂层断口SEM结果分析第43-46页
    3.5 本章小结第46-47页
第4章 涂层的力学性能及摩擦磨损性能测试分析第47-59页
    4.1 涂层硬度测试及分析第47-49页
    4.2 涂层与基体之间结合力的测试及分析第49-51页
    4.3 Nb_2N涂层的磨损性能测试第51-55页
        4.3.1 涂层与基体摩擦系数随时间变化曲线第51-52页
        4.3.2 涂层与基体磨痕宏观图比较第52-53页
        4.3.3 涂层与基体磨痕SEM照片第53-55页
    4.4 Nb_2N涂层磨痕中间EDS测试结果及分析第55-56页
    4.5 本章小结第56-59页
第5章 涂层的电化学性能测试及分析第59-69页
    5.1 开路电位(OCP)——时间测试第59-60页
    5.2 动电位极化曲线测试第60-62页
    5.3 电化学阻抗谱测试及分析第62-68页
    5.4 本章小结第68-69页
第6章 结论第69-71页
参考文献第71-79页
附录 攻读硕士期间已发表的论文第79-81页
致谢第81页

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