| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪 论 | 第14-48页 |
| ·引言 | 第14-18页 |
| ·纳米多层膜的研究现状 | 第18-28页 |
| ·纳米多层膜中的模板效应 | 第28-30页 |
| ·纳米复合膜的研究现状 | 第30-37页 |
| ·本论文的研究内容 | 第37-40页 |
| 参考文献 | 第40-48页 |
| 第二章 实验设备与实验方法 | 第48-58页 |
| ·样品制备方法与设备 | 第48-49页 |
| ·样品检测方法与设备 | 第49-53页 |
| ·本论文用到的特殊的实验方法 | 第53-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第三章 TiN/SiC 纳米多层膜：非晶碳化物的晶体化及晶体生长的互促效应 | 第58-73页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·实验过程 | 第59-60页 |
| ·实验结果 | 第60-67页 |
| ·本章讨论 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第四章 TiN/AlON 纳米多层膜：反应溅射含氧化物多层膜中的非晶晶化和超硬效应 | 第73-83页 |
| ·引言 | 第73-74页 |
| ·实验过程 | 第74-75页 |
| ·实验结果 | 第75-80页 |
| ·本章讨论 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-83页 |
| 第五章 AlN/Si_3N_4纳米多层膜：六方晶体结构中的非晶晶化现象和超硬效应 | 第83-92页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·实验过程 | 第83-84页 |
| ·实验结果 | 第84-88页 |
| ·本章讨论 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 第六章 TiN/Si_3N_4 纳米复合膜和纳米多层膜：三维纳米结构薄膜中的模板效应 | 第92-106页 |
| ·引言 | 第92-93页 |
| ·实验过程 | 第93-94页 |
| ·实验结果 | 第94-100页 |
| ·本章讨论 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-106页 |
| 第七章 两相纳米结构薄膜中若干问题的讨论 | 第106-120页 |
| ·两相纳米结构薄膜的模板效应及其普遍性 | 第106-111页 |
| ·纳米多层膜的强化机制 | 第111-115页 |
| ·纳米多层膜的设计准则 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-120页 |
| 第八章 结论、创新点与展望 | 第120-124页 |
| ·本论文的主要结论 | 第120-121页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第121-122页 |
| ·展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及专利 | 第125-126页 |
| 攻读博士学位期间所获奖励 | 第126-129页 |
| 上海交通大学博士学位论文答辩决议书 | 第129页 |
