| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·DLC膜的国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·DLC膜的发展史 | 第9-10页 |
| ·DLC膜力学性能的研究现状 | 第10-11页 |
| ·DLC膜摩擦磨损性能的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 陶瓷球表面沉积DLC膜的均匀性研究 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·不同夹具模型中陶瓷球镀膜均匀性的运动分析 | 第14-23页 |
| ·单沟道三自转盘夹具中陶瓷球的运动分析 | 第14-18页 |
| ·三沟道单自转盘夹具中陶瓷球的运动分析 | 第18-20页 |
| ·两种夹具中球运动的均匀性分析 | 第20-23页 |
| ·三沟道单自转盘夹具中陶瓷球沉积DLC膜均匀性实验分析 | 第23-25页 |
| ·陶瓷球上DLC膜的制备 | 第23-24页 |
| ·DLC膜陶瓷球表面圆度测量 | 第24页 |
| ·DLC膜陶瓷球表面粗糙度测量 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 氮化硅陶瓷表面DLC膜的承载特性研究 | 第27-46页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·测试设备及理论基础 | 第27-32页 |
| ·纳米划痕仪及相关参数 | 第27-28页 |
| ·纳米压痕法的力学基础 | 第28-31页 |
| ·纳米划痕法的力学基础 | 第31-32页 |
| ·纳米压痕法研究DLC膜的承载特性 | 第32-38页 |
| ·陶瓷片表面DLC膜的纳米压痕试验分析 | 第32-34页 |
| ·陶瓷球表面DLC膜的纳米压痕试验分析 | 第34-36页 |
| ·基于纳米压痕法的DLC膜失效力学分析 | 第36-38页 |
| ·纳米划痕法研究DLC膜的承载特性 | 第38-44页 |
| ·DLC膜失效的纳米划痕试验法研究 | 第38-42页 |
| ·纳米划痕法表征DLC膜失效的力学分析 | 第42-43页 |
| ·不同基体与DLC膜的结合力比较分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章氮化硅陶瓷表面DLC膜的摩擦特性分析 | 第46-65页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·载荷对DLC膜的摩擦磨损影响 | 第47-53页 |
| ·速度对DLC膜的摩擦磨损影响 | 第53-60页 |
| ·配副对DLC膜的摩擦磨损影响 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |