基于SPR技术的ITO薄膜气敏特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 气敏传感器的发展 | 第11页 |
| 1.3 气敏传感器的分类及结构 | 第11-14页 |
| 1.3.1 半导体式气敏传感器 | 第12-13页 |
| 1.3.2 电化学式气敏传感器 | 第13页 |
| 1.3.3 红外吸收式气敏传感器 | 第13-14页 |
| 1.3.4 接触燃烧式气敏传感器 | 第14页 |
| 1.4 表面等离子体共振的发展 | 第14-15页 |
| 1.5 研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 SPR传感基本理论 | 第17-23页 |
| 2.1 ITO的简要介绍 | 第17页 |
| 2.2 SPR基本理论 | 第17-22页 |
| 2.2.1 SPR传感器的调制方式 | 第18-19页 |
| 2.2.2 SPR传感器的耦合结构 | 第19-21页 |
| 2.2.3 SPR的传感原理 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 SPR仿真计算及薄膜制备 | 第23-39页 |
| 3.1 光学薄膜的数值计算方法 | 第23-25页 |
| 3.2 薄膜的制备方法和测试装置 | 第25-27页 |
| 3.2.1 薄膜的制备方法 | 第25-26页 |
| 3.2.2 SPR角度调制的实验装置 | 第26-27页 |
| 3.3 金属薄膜的选取与制备 | 第27-32页 |
| 3.3.1 金属薄膜的SPR仿真与测试 | 第27-30页 |
| 3.3.2 Ag膜的制备 | 第30-32页 |
| 3.4 Ag/ITO复合薄膜的制备 | 第32-35页 |
| 3.4.1 Ag/ITO复合薄膜的SPR仿真 | 第32-33页 |
| 3.4.2 Ag/ITO复合薄膜的制备与测试 | 第33-35页 |
| 3.5 薄膜的厚度与介电常数计算 | 第35-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 Ag/ITO薄膜的气敏特性测试 | 第39-52页 |
| 4.1 气敏传感器基本理论 | 第39页 |
| 4.2 实验的设计与搭建 | 第39-40页 |
| 4.3 甲醛的气敏特性测试 | 第40-44页 |
| 4.3.1 甲醛的制备 | 第40-41页 |
| 4.3.2 甲醛气敏测试 | 第41-44页 |
| 4.4 二氧化氮的气敏特性测试 | 第44-47页 |
| 4.4.1 二氧化氮的制备 | 第44-45页 |
| 4.4.2 二氧化氮气敏测试 | 第45-47页 |
| 4.5 氨气的气敏特性测试 | 第47-50页 |
| 4.5.1 氨气的制备 | 第47-48页 |
| 4.5.2 氨气的气敏测试 | 第48-50页 |
| 4.6 三种气体的气敏特性对比 | 第50-51页 |
| 4.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
