| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第11-20页 |
| 1.2.1 微机械陀螺仪国内外研究概况 | 第11-15页 |
| 1.2.2 振环式微陀螺仪国内外研究概况 | 第15-16页 |
| 1.2.3 数字化测控技术国内外研究概况 | 第16-18页 |
| 1.2.4 三轴集成技术国内外研究概况 | 第18-20页 |
| 1.3 课题研究的目的及意义 | 第20-21页 |
| 1.4 课题来源与研究内容 | 第21-23页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第21页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 振环式硅微陀螺仪基本理论 | 第23-33页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 振环式硅微陀螺仪基本结构 | 第23页 |
| 2.3 振环式硅微陀螺仪基本工作原理 | 第23-28页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第23-25页 |
| 2.3.2 动力学方程 | 第25-28页 |
| 2.4 振环式硅微陀螺仪驱动与检测方式 | 第28-31页 |
| 2.4.1 电容静电力驱动原理 | 第28-29页 |
| 2.4.2 电容检测原理 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 振环式硅微陀螺仪数字驱动检测技术研究 | 第33-55页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 振环式硅微陀螺仪驱动技术 | 第33-42页 |
| 3.2.1 闭环驱动回路分析 | 第34-37页 |
| 3.2.2 闭环驱动回路设计 | 第37-42页 |
| 3.3 检测技术研究 | 第42-49页 |
| 3.3.1 频率调谐与正交校正 | 第42-44页 |
| 3.3.2 闭环检测分析 | 第44-47页 |
| 3.3.3 闭环检测回路设计 | 第47-49页 |
| 3.4 数字系统设计 | 第49-54页 |
| 3.4.1 系统架构 | 第49页 |
| 3.4.2 驱动信号生成 | 第49-51页 |
| 3.4.3 同步积分解调 | 第51-52页 |
| 3.4.4 AD转换 | 第52-53页 |
| 3.4.5 PI控制器 | 第53页 |
| 3.4.6 DA转换 | 第53-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 振环式硅微陀螺仪误差分析与温度漂移校正技术 | 第55-69页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 振环式硅微陀螺仪误差分析 | 第55-60页 |
| 4.2.1 振环陀螺仪主要误差 | 第55-58页 |
| 4.2.2 模态互易技术与闭环零偏误差 | 第58-60页 |
| 4.3 温度对硅微陀螺仪零偏的影响机理 | 第60-63页 |
| 4.3.1 谐振频率与温度的关系 | 第60-61页 |
| 4.3.2 温度对陀螺仪阻尼的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.3 温度对陀螺仪零偏的影响 | 第62-63页 |
| 4.4 温度漂移校正技术研究 | 第63-67页 |
| 4.4.1 基于最小二乘法的零偏补偿方法 | 第63-65页 |
| 4.4.2 基于模态互易技术的零偏自校准方法 | 第65-66页 |
| 4.4.3 温度补偿实验 | 第66-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 三轴集成技术研究 | 第69-79页 |
| 5.1 引言 | 第69页 |
| 5.2 集成方案设计 | 第69-73页 |
| 5.2.1 三轴正交集成方案 | 第69-70页 |
| 5.2.2 基于模态互易的集成方案 | 第70-73页 |
| 5.3 耦合误差分析与建模补偿 | 第73-78页 |
| 5.3.1 陀螺仪集成单元的误差特性 | 第73-75页 |
| 5.3.2 耦合误差建模与补偿 | 第75-76页 |
| 5.3.3 补偿模型参数确定方法 | 第76-77页 |
| 5.3.4 耦合补偿实验 | 第77-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 硅微陀螺仪性能测试实验 | 第79-87页 |
| 6.1 引言 | 第79页 |
| 6.2 性能测试方法 | 第79-82页 |
| 6.2.1 实验设备 | 第79页 |
| 6.2.2 标度因数及相关指标 | 第79-80页 |
| 6.2.3 零偏及相关指标 | 第80-81页 |
| 6.2.4 角度随机游走系数 | 第81-82页 |
| 6.3 实验结果 | 第82-85页 |
| 6.3.1 振环陀螺仪测试结果 | 第82-84页 |
| 6.3.2 三轴陀螺仪系统测试结果 | 第84-85页 |
| 6.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第七章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 7.1 全文总结 | 第87页 |
| 7.2 未来展望 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第95页 |