高温微加热器的热电效应研究
| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第15页 |
| 1.2 微机电系统简介 | 第15-17页 |
| 1.3 气体传感技术 | 第17-19页 |
| 1.4 微加热器研究现状 | 第19-22页 |
| 1.5 本课题的研究意义和内容 | 第22-24页 |
| 2 高温微加热器中的热电效应 | 第24-38页 |
| 2.1 热电效应简介 | 第24-26页 |
| 2.2 微加热器传热分析 | 第26-30页 |
| 2.3 单晶硅的相关参数 | 第30-33页 |
| 2.4 微加热器焦耳热分析 | 第33-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 热电效应有限元分析 | 第38-56页 |
| 3.1 有限元分析简介 | 第38页 |
| 3.2 微加热器建模步骤 | 第38-41页 |
| 3.3 桥式微加热器热电效应仿真 | 第41-46页 |
| 3.4 U型微加热器热电效应仿真 | 第46-51页 |
| 3.5 两种改进型微加热传感器结构分析 | 第51-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 微加热器测试与分析 | 第56-66页 |
| 4.1 测试样品制备 | 第56-58页 |
| 4.2 微加热器热电效应验证 | 第58-64页 |
| 4.3 基于热电效应的改进传感结构测试 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 结论 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 作者简历 | 第73-75页 |
| 学位论文数据集 | 第75页 |
