| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-16页 |
| 1.1.1 等离子体简介 | 第13-14页 |
| 1.1.2 研究意义和目的 | 第14-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-22页 |
| 1.2.1 ICP电感模式E-H研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.2 混合放电研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.3 双层结构及其在空间环境和推进器方面应用研究进展 | 第19-22页 |
| 1.3 本论文主要内容 | 第22-24页 |
| 第2章 低温等离子体放电与诊断方法 | 第24-51页 |
| 2.1 低温等离子体放电源 | 第24-33页 |
| 2.1.1 直流放电 | 第24-25页 |
| 2.1.2 介质阻挡放电 | 第25-26页 |
| 2.1.3 射频等离子体放电 | 第26-31页 |
| 2.1.4 微波放电和电子回旋共振放电 | 第31-33页 |
| 2.2 本论文所采用的诊断方法 | 第33-50页 |
| 2.2.1 微波法诊断 | 第34-40页 |
| 2.2.2 光谱法诊断 | 第40-45页 |
| 2.2.3 静电探针诊断 | 第45-50页 |
| 2.3 小结 | 第50-51页 |
| 第3章 射频电感耦合等离子体模式转变特性的实验研究 | 第51-80页 |
| 3.1 射频电感耦合放电模式转变和滞回线效应 | 第51-58页 |
| 3.1.1 ICP模式转变的放电理论机制 | 第51-52页 |
| 3.1.2 ICP放电的功率传输 | 第52-56页 |
| 3.1.3 能量守恒方程和滞回线效应 | 第56-58页 |
| 3.2 ICP放电实验装置和诊断设备 | 第58-62页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第59-60页 |
| 3.2.2 诊断设备 | 第60-62页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第62-78页 |
| 3.3.1 电容耦合占主导地位功率点的讨论 | 第64-65页 |
| 3.3.2 电感耦合占主导地位功率点的讨论 | 第65-67页 |
| 3.3.3 E-H模式的转变密度 | 第67-69页 |
| 3.3.4 H-E模式的转变密度 | 第69页 |
| 3.3.5 光谱测量分析讨论 | 第69-72页 |
| 3.3.6 750.4nm谱线(高能电子密度)实验结果 | 第72-74页 |
| 3.3.7 811.5/750.4(亚稳态原子密度)实验结果 | 第74-77页 |
| 3.3.8 811.5nm和750.4nm谱线实验结果对比 | 第77页 |
| 3.3.9 模式转变前后谱线测量结果 | 第77-78页 |
| 3.4 小结 | 第78-80页 |
| 第4章 电极位型和放电介质对ICP模式转变影响的实验研究 | 第80-105页 |
| 4.1 氩气和汞蒸气混合放电 | 第80-81页 |
| 4.2 氩汞混合放电实验设计 | 第81页 |
| 4.3 氩汞混合放电实验结果与讨论 | 第81-90页 |
| 4.3.1 电子密度结果 | 第82-83页 |
| 4.3.2 模式转变规律 | 第83-84页 |
| 4.3.3 实验结果讨论 | 第84-90页 |
| 4.4 电子加热的非局域性 | 第90-92页 |
| 4.5 电子加热非局域性实验结果与讨论 | 第92-104页 |
| 4.5.1 电极匝数相同而间隔不同 | 第92-99页 |
| 4.5.2 转变功率与电极高度、匝数的关系 | 第99-102页 |
| 4.5.3 辅助电机放电 | 第102-104页 |
| 4.6 小结 | 第104-105页 |
| 第5章 磁膨胀等离子体中双层结构的实验研究 | 第105-130页 |
| 5.1 磁膨胀等离子体DL结构理论 | 第105-109页 |
| 5.2 实验装置和设计 | 第109-116页 |
| 5.2.1 WVU HELIX-LEIA系统 | 第109-113页 |
| 5.2.2 双层结构诊断系统 | 第113-116页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第116-129页 |
| 5.3.1 IVDF分布 | 第117-118页 |
| 5.3.2 二维IDVF分布 | 第118-124页 |
| 5.3.3 电势结构分布 | 第124-126页 |
| 5.3.4 频谱分析 | 第126-128页 |
| 5.3.5 DL结构物理描述 | 第128-129页 |
| 5.4 小结 | 第129-130页 |
| 第6章 总结与展望 | 第130-133页 |
| 6.1 研究内容总结与创新点 | 第130-132页 |
| 6.1.1 ICP放电中的模式转变 | 第130-131页 |
| 6.1.2 磁膨胀等离子体双层结构 | 第131页 |
| 6.1.3 论文的主要创新点 | 第131-132页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-144页 |
| 附录A 不同温度下汞的饱和蒸气压 | 第144-145页 |
| 致谢 | 第145-147页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第147-149页 |
