| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 电子器件集成化的历程与现状 | 第10-12页 |
| 1.2 集成滤波器简介 | 第12-14页 |
| 1.3 集成无源电感简介 | 第14-17页 |
| 1.3.1 无源微电感的发展 | 第14-16页 |
| 1.3.2 无源微电感的损耗机制 | 第16-17页 |
| 1.4 无源器件工艺与集成技术 | 第17-19页 |
| 1.4.1 传统的分立元件 | 第17-18页 |
| 1.4.2 LTCC技术及其发展现状 | 第18页 |
| 1.4.3 CMOS片上集成技术 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的结构安排 | 第19-20页 |
| 第二章 磁芯材料的研究 | 第20-28页 |
| 2.1 磁芯材料的性能要求 | 第20页 |
| 2.2 磁芯材料的制备 | 第20-21页 |
| 2.3 溅射时间对性能的影响 | 第21-26页 |
| 2.3.1 溅射时间与薄膜厚度 | 第21-22页 |
| 2.3.2 不同溅射时间的XRD分析 | 第22-24页 |
| 2.3.3 溅射时间对矫顽力的影响 | 第24-25页 |
| 2.3.4 溅射时间对截止频率的影响 | 第25-26页 |
| 2.4 最佳工艺参数的确定 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 片上元件的设计仿真 | 第28-42页 |
| 3.1 平面螺旋电感的等效电路模型 | 第28-31页 |
| 3.1.1 空芯电感集总模型 | 第28-29页 |
| 3.1.2 模型的计算公式 | 第29-30页 |
| 3.1.3 带磁芯的平面螺旋电感模型 | 第30-31页 |
| 3.2 HFSS电感仿真及参数分析 | 第31-35页 |
| 3.3 设计参数的改变对电感性能的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.1 线圈厚度t对电感性能的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.2 匝数对电感性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.4 磁芯的磁导率对电感性能影响 | 第37页 |
| 3.4 MIM电容 | 第37-39页 |
| 3.5 HFSS电容仿真及参数分析 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 滤波器的设计仿真 | 第42-51页 |
| 4.1 LC集总滤波器设计方法 | 第42-47页 |
| 4.1.1 网络综合法简介 | 第42-44页 |
| 4.1.2 巴特沃斯(Butterworth)滤波器设计 | 第44-46页 |
| 4.1.3 原型滤波器的反归一化 | 第46-47页 |
| 4.2 LC集总滤波器的设计与仿真 | 第47-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-52页 |
| 5.1 结论 | 第51页 |
| 5.2 展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |