| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第9页 |
| 1.2 多自由度磁浮平面电机的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 多自由度精密定位平台的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3.1 三自由度精密定位平台的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3.2 六自由度精密定位平台的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 多自由度精密定位平台研究现状综述 | 第17页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 改进Y形微位移精密定位平台结构设计 | 第19-31页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 △形、Y形和十字形磁悬浮精密定位平台结构分析 | 第19-21页 |
| 2.3 改进Y形微位移精密定位平台定子结构设计 | 第21-25页 |
| 2.3.1 精密定位平台传感器选型 | 第22-23页 |
| 2.3.2 精密定位平台定子基座设计 | 第23-25页 |
| 2.4 改进Y形微位移精密定位平台动子结构设计 | 第25-26页 |
| 2.5 定位平台动子仿真 | 第26-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 驱动单元电磁力建模与定位平台位置解耦 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 定位平台驱动单元结构特点 | 第31-32页 |
| 3.3 定位平台驱动单元电磁力建模 | 第32-38页 |
| 3.3.1 通电线圈一维模型电磁力建模 | 第34-36页 |
| 3.3.2 通电线圈二维模型电磁力建模 | 第36页 |
| 3.3.3 通电线圈三维模型电磁力建模 | 第36-38页 |
| 3.4 定位平台驱动单元线圈电流分配方式 | 第38-42页 |
| 3.4.1 定位平台驱动单元运行机理 | 第39-40页 |
| 3.4.2 线圈阵列电流分配方式 | 第40-42页 |
| 3.5 定位平台位置解耦 | 第42-46页 |
| 3.5.1 定位平台z向驱动位置解耦 | 第42-44页 |
| 3.5.2 定位平台水平向驱动位置解耦 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 定位平台系统控制板卡及程序设计 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 定位平台系统控制板卡硬件设计 | 第47-51页 |
| 4.2.1 控制板卡主控系统设计 | 第47-49页 |
| 4.2.2 控制板卡外设设计 | 第49-51页 |
| 4.3 定位平台系统上位机设计 | 第51-56页 |
| 4.3.1 数据采集功能设计 | 第51-53页 |
| 4.3.2 数据记录功能设计 | 第53-55页 |
| 4.3.3 PID参数调试功能设计 | 第55-56页 |
| 4.4 定位平台系统程序设计 | 第56-59页 |
| 4.4.1 FPGA程序设计 | 第56-57页 |
| 4.4.2 DSP程序设计 | 第57-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 定位平台系统误差分析 | 第60-69页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 平面光栅引起的定位误差 | 第60-64页 |
| 5.3 电容传感器引起的误差 | 第64-66页 |
| 5.4 机械形变和安装偏差引起的误差 | 第66-67页 |
| 5.5 控制部分引起的误差分析 | 第67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 实验与分析 | 第69-78页 |
| 6.1 引言 | 第69页 |
| 6.2 定位平台定位噪声测试实验分析 | 第69-71页 |
| 6.3 定位平台行程测试实验分析 | 第71-72页 |
| 6.4 定位平台分辨力测试实验分析 | 第72-74页 |
| 6.5 定位平台加速度测试实验分析 | 第74-76页 |
| 6.6 本章小结 | 第76-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86页 |