基于流—热—固多场耦合分析的PECVD装置优化设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 太阳能电池与PECVD装置 | 第10-14页 |
| 1.2.1 太阳能电池 | 第10-12页 |
| 1.2.2 PECVD工艺 | 第12-13页 |
| 1.2.3 PECVD装置研究进展 | 第13-14页 |
| 1.3 正交试验方法 | 第14页 |
| 1.4 流-热-固多场耦合分析方法 | 第14-18页 |
| 1.4.1 流-热-固多场耦合方法关键技术 | 第15-17页 |
| 1.4.2 流-热-固多场耦合方法的应用 | 第17-18页 |
| 1.5 课题研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 PECVD装置与试验 | 第20-35页 |
| 2.1 PECVD装置 | 第20-22页 |
| 2.2 装置试验 | 第22页 |
| 2.3 隔热与冷却性能试验 | 第22-27页 |
| 2.4 密封性能试验 | 第27-33页 |
| 2.4.1 密封性能试验一 | 第27-30页 |
| 2.4.2 密封性能试验二 | 第30-33页 |
| 2.5 试验结论 | 第33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 PECVD装置耦合模型的建立与分析 | 第35-46页 |
| 3.1 装置结构简化 | 第35-40页 |
| 3.1.1 上箱体 | 第36-37页 |
| 3.1.2 隔热箱 | 第37-39页 |
| 3.1.3 下箱体 | 第39-40页 |
| 3.1.4 流体 | 第40页 |
| 3.2 流-热-固多场耦合分析 | 第40-42页 |
| 3.3 分析结果与验证 | 第42-44页 |
| 3.3.1 结果分析 | 第42-44页 |
| 3.3.2 模型验证 | 第44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 PECVD装置热变形因素分析与方案优化 | 第46-70页 |
| 4.1 PECVD装置分析的指标与因素 | 第46-48页 |
| 4.1.1 指标 | 第46页 |
| 4.1.2 结构相关因素 | 第46页 |
| 4.1.3 传热相关因素 | 第46-48页 |
| 4.2 PECVD装置热变形因素分析 | 第48-59页 |
| 4.2.1 正交试验 | 第48-53页 |
| 4.2.2 发射率、对流换热系数与热阻 | 第53-55页 |
| 4.2.3 冷却管路布置 | 第55-56页 |
| 4.2.4 加强筋 | 第56-59页 |
| 4.3 PECVD装置优化方案 | 第59-68页 |
| 4.3.1 加强筋优化 | 第59-63页 |
| 4.3.2 冷却方案优化 | 第63-65页 |
| 4.3.3 传热优化 | 第65-66页 |
| 4.3.4 优化方案总结 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-73页 |
| 5.1 全文总结 | 第70-71页 |
| 5.2 工作展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 附录 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读学位期间的学术成果 | 第81-83页 |
