| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 聚合物光波导的研究历程 | 第9-10页 |
| 1.3 含氟聚酰亚胺的特点 | 第10-11页 |
| 1.4 本文主要的研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 薄膜波导的传播模式和测量 | 第12-23页 |
| 2.1 薄膜波导中几何光线的传播 | 第12-13页 |
| 2.2 薄导的电磁理论 | 第13-19页 |
| 2.2.1 TE模 | 第14-18页 |
| 2.2.2 TM模 | 第18-19页 |
| 2.3 棱镜耦合法及光波导参数测量仪 | 第19-23页 |
| 第3章 含氟聚酰亚胺薄膜的制备 | 第23-30页 |
| 3.1 薄膜波导衬底的处理 | 第23-24页 |
| 3.2 含氟聚酰胺酸溶液的配制 | 第24-26页 |
| 3.3 用甩胶法旋涂聚酰亚胺薄膜 | 第26-28页 |
| 3.4 在不同温度下进行退火处理 | 第28-30页 |
| 第4章 刚性含氟聚酰亚胺薄膜的测试与分析 | 第30-47页 |
| 4.1 不同退火温度对薄膜折射率的影响 | 第30-38页 |
| 4.2 不同含氟浓度对薄膜折射率的影响 | 第38-42页 |
| 4.2.1 完成热亚胺化之前含氟浓度对薄膜折射率的影响 | 第39-40页 |
| 4.2.2 完成热亚胺化之后含氟浓度对薄膜折射率的影响 | 第40-42页 |
| 4.3 不同匀胶转速对光波导厚度的影响 | 第42-45页 |
| 4.4 不同退火时间对光波导折射率的影响 | 第45-46页 |
| 4.5 本章结论 | 第46-47页 |
| 第5章 半柔性含氟聚酰亚胺薄膜的测试与分析 | 第47-59页 |
| 5.1 不同退火温度对薄膜折射率的影响 | 第47-52页 |
| 5.2 不同退火时间对薄膜折射率的影响 | 第52-54页 |
| 5.3 不同转速对薄膜折射率的影响 | 第54-56页 |
| 5.4 垂直多次甩胶制作光波导 | 第56-57页 |
| 5.5 本章结论 | 第57-59页 |
| 第6章 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第65页 |