微小器件装配系统的高精度控制技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外微小器件装配领域研究概述 | 第11-15页 |
| 1.3 本文研究的目的 | 第15页 |
| 1.4 微小器件装配系统高精度控制存在的难题 | 第15-16页 |
| 1.5 本文的主要结构框架 | 第16-18页 |
| 第2章 微小器件高精度装配系统的总成 | 第18-28页 |
| 2.1 支持高精度装配的系统构成 | 第19-22页 |
| 2.1.1 运动控制单元 | 第20页 |
| 2.1.2 机器视觉单元 | 第20-21页 |
| 2.1.3 真空吸附夹持单元 | 第21页 |
| 2.1.4 软件控制单元 | 第21-22页 |
| 2.2 装配系统各个部件之间的关系 | 第22-23页 |
| 2.3 实现高精度装配的装配流程 | 第23-26页 |
| 2.4 微装配系统的高精度分析 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 运动控制对装配精度的影响 | 第28-46页 |
| 3.1 运动控制对高精度的影响及优化 | 第28-39页 |
| 3.1.1 对X、Y轴进行误差测量和补偿 | 第29-33页 |
| 3.1.2 对XY轴插补运动进行角度补偿 | 第33-36页 |
| 3.1.3 对旋转轴进行角度测量 | 第36-39页 |
| 3.2 装配路径的选择对高精度控制的影响 | 第39-42页 |
| 3.2.1 常规微小器件装配路径规划方法 | 第39-41页 |
| 3.2.2 多套微小器件装配路径规划方法 | 第41-42页 |
| 3.3 吸附夹持对高精度控制的影响 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 装配系统高精度识别和特征提取 | 第46-60页 |
| 4.1 机器视觉模块相机外参数的分析及高精度调整 | 第46-51页 |
| 4.1.1 相机小角度偏转对精度的分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 相机偏转角的测量与调整方法 | 第49-51页 |
| 4.2 显微视觉高精度特征提取算法研究 | 第51-58页 |
| 4.2.1 初次特征提取算法 | 第51-53页 |
| 4.2.2 零件的识别算法 | 第53-55页 |
| 4.2.3 零件特征的高精度提取 | 第55-58页 |
| 4.3 器件图像特征点高精度定位技术 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 装配系统的精度测量 | 第60-67页 |
| 5.1 水平面内的位移精度检测 | 第60-63页 |
| 5.2 水平面内的角度精度检测 | 第63-64页 |
| 5.3 装配系统高精度夹持实验 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 总结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
