| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 氮化镓外延生长表层温度在线监测研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 温度在线监测仪的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12页 |
| 1.3 本文研究的内容和论文安排 | 第12-15页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.2 论文安排 | 第13-15页 |
| 第二章 氮化镓外延生长表层温度监测方案设计 | 第15-23页 |
| 2.1 测温系统设计要求及工作环境概述 | 第15-16页 |
| 2.2 辐射测温原理 | 第16-20页 |
| 2.2.1 全辐射测温 | 第17-18页 |
| 2.2.2 亮度测温 | 第18-19页 |
| 2.2.3 双波长测温 | 第19页 |
| 2.2.4 多波段测温 | 第19-20页 |
| 2.2.5 最大波长测温 | 第20页 |
| 2.3 温度测量实施方案 | 第20-22页 |
| 2.3.1 热辐射测量方法 | 第20-21页 |
| 2.3.2 反射率测量方法 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 氮化镓外延生长表层温度监测系统设计 | 第23-46页 |
| 3.1 系统光路及机械结构设计 | 第23-31页 |
| 3.1.1 光路仿真 | 第24-27页 |
| 3.1.2 机械结构设计 | 第27-31页 |
| 3.2 系统电路设计 | 第31-36页 |
| 3.2.1 LED控制电路设计 | 第32-34页 |
| 3.2.2 光电倍增管增益控制电路设计 | 第34-36页 |
| 3.3 辅助测试系统设计 | 第36-38页 |
| 3.3.1 热辐射与反射光接收光路辅助调试模块设计 | 第36-37页 |
| 3.3.2 探头与目标表面准直辅助调试模块设计 | 第37页 |
| 3.3.3 探头接收目标热辐射范围验证模块设计 | 第37-38页 |
| 3.4 硬件系统调试 | 第38-40页 |
| 3.4.1 LED控制电路调试 | 第39页 |
| 3.4.2 光电倍增管增益控制电路调试 | 第39-40页 |
| 3.5 光学系统调试 | 第40-43页 |
| 3.5.1 光源模块调试 | 第41页 |
| 3.5.2 热辐射与反射率测量复用光路模块调试 | 第41页 |
| 3.5.3 接收模块调试 | 第41-43页 |
| 3.5.4 探头准直调试 | 第43页 |
| 3.6 软件调试 | 第43-45页 |
| 3.6.1 软件采样时序分析 | 第43-44页 |
| 3.6.2 石墨盘外延片分片 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 氮化镓外延生长表层温度监测系统参数标定 | 第46-56页 |
| 4.1 热辐射强度测量 | 第46-49页 |
| 4.1.1 热辐射强度─温度对应关系校准方法 | 第46-48页 |
| 4.1.2 热辐射强度─温度对应关系校准结果分析 | 第48-49页 |
| 4.2 温度监测仪反射率测量 | 第49-52页 |
| 4.2.1 氮化镓表面反射率校准方法 | 第49-50页 |
| 4.2.2 氮化镓表面反射率校准结果分析 | 第50-51页 |
| 4.2.3 氮化镓表面反射率变化对温度测量的影响 | 第51-52页 |
| 4.3 温度监测仪热辐射检测范围 | 第52-53页 |
| 4.4 探头角度灵敏度测试 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 数据分析与系统改进 | 第56-61页 |
| 5.1 氮化镓外延生长表层反射率测量曲线分析 | 第57-58页 |
| 5.2 氮化镓外延生长表层温度测量曲线分析 | 第58-60页 |
| 5.3 外延工艺对温度测量影响 | 第60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 全文总结 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士期间取得的科研成果 | 第68-69页 |