| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 噪声分析法在半导体器件检测中的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 ALPHA稳定分布在信号处理中的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 论文主要研究内容及章节安排 | 第14-16页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4.2 论文的章节安排 | 第15-16页 |
| 第2章 1/F噪声硬件测试系统及ALPHA稳定分布基本理论 | 第16-28页 |
| 2.1 1/F噪声测试系统搭建 | 第16-20页 |
| 2.1.1 半导体低频噪声测量方法 | 第16-17页 |
| 2.1.2 测试系统的抗干扰措施 | 第17-19页 |
| 2.1.3 系统硬件构成 | 第19-20页 |
| 2.2 数据预处理 | 第20-23页 |
| 2.2.1 小波包分析基本理论 | 第21-22页 |
| 2.2.2 小波包自适应阈值去噪 | 第22-23页 |
| 2.2.3 小波包自适应阈值去噪实验 | 第23页 |
| 2.3 半导体器件低频噪声构成 | 第23-25页 |
| 2.4 ALPHA稳定分布基本理论 | 第25-27页 |
| 2.4.1 alpha稳定分布的定义 | 第25-26页 |
| 2.4.2 alpha稳定分布的特征函数 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 基于ALPHA稳定分布 1/F噪声信号建模理论研究 | 第28-45页 |
| 3.1 无穷方差检验 | 第28-30页 |
| 3.2 基于多种参数估计方法的建模参数一致性检验 | 第30-37页 |
| 3.2.1 基于采样分位数方法 1/f噪声信号建模参数估计 | 第30-32页 |
| 3.2.2 基于样本特征函数方法 1/f噪声信号建模参数估计 | 第32-33页 |
| 3.2.3 基于对数矩方法 1/f噪声信号建模参数估计 | 第33-35页 |
| 3.2.4 实测 1/f噪声的建模参数一致性检验实验 | 第35-37页 |
| 3.3 基于ALPHA稳定分布 1/F噪声信号建模拟合优度检验 | 第37-41页 |
| 3.3.1 基于概率密度的拟合优度检验 | 第37页 |
| 3.3.2 实测 1/f噪声信号概率密度拟合优度检验实验 | 第37-38页 |
| 3.3.3 基于特征函数的拟合优度检验 | 第38-41页 |
| 3.3.4 实测 1/f噪声信号建模特征函数拟合优度检验实验 | 第41页 |
| 3.4 基于ALPHA稳定分布 1/F噪声信号稳定性检验 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于ALPHA稳定分布 1/F噪声信号参数估计方法研究 | 第45-52页 |
| 4.1 基于传统谱估计 1/F噪声信号参数估计方法 | 第45-47页 |
| 4.2 基于共变谱 1/F噪声信号参数估计方法研究 | 第47-48页 |
| 4.3 基于分数低阶协方差谱 1/F噪声信号参数估计方法研究 | 第48-49页 |
| 4.4 基于广义分数低阶协方差谱 1/F噪声信号参数估计方法研究 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 基于FARIMA模型 1/F噪声参数估计方法研究 | 第52-66页 |
| 5.1 FARIMA模型概述 | 第52-53页 |
| 5.2 FARIMA模型与ALPHA谱之间的关系 | 第53-55页 |
| 5.3 FARIMA模型参数估计方法研究 | 第55-65页 |
| 5.3.1 FARIMA模型三步识别参数估计法 | 第55-57页 |
| 5.3.2 半导体器件 1/f噪声信号hurst参数估计 | 第57-60页 |
| 5.3.3 基于共变函数的广义Yule-Walker方程 | 第60-61页 |
| 5.3.4 基于SVD分解法AR模型参数估计 | 第61-62页 |
| 5.3.5 AR模型阶数定阶方法 | 第62-65页 |
| 5.4 实测 1/F噪声参数估计实验 | 第65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 作者简介及科研成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
