大功率微波磁控管电源研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究的背景 | 第11-16页 |
| 1.1.1 等离子体概述 | 第11-12页 |
| 1.1.2 磁控管概述 | 第12-15页 |
| 1.1.3 微波等离子体设备概述 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 研究课题的研究意义 | 第17-19页 |
| 1.4 论文梗概及安排 | 第19-21页 |
| 第2章 微波电源控制方案研究 | 第21-31页 |
| 2.1 模糊PID控制策略概述 | 第21-22页 |
| 2.2 模糊控制的控制框图分析 | 第22-23页 |
| 2.3 模糊控制的算法设计 | 第23-27页 |
| 2.3.1 建立模糊规则 | 第24-26页 |
| 2.3.2 PID参数整定 | 第26-27页 |
| 2.4 Matlab仿真 | 第27-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 微波电源硬件电路设计与研究 | 第31-43页 |
| 3.1 磁场电源电路 | 第31-36页 |
| 3.1.1 磁场开关电源模块设计 | 第31-34页 |
| 3.1.2 多级串联稳压电路 | 第34-35页 |
| 3.1.3 输出可调电路设计 | 第35-36页 |
| 3.2 电场电源电路 | 第36-38页 |
| 3.3 灯丝电源电路 | 第38-39页 |
| 3.4 单片机显示和控制电路 | 第39-40页 |
| 3.5 外围辅助电路设计 | 第40-42页 |
| 3.5.1 软启动电路设计 | 第40-41页 |
| 3.5.2 缺项保护电路 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 微波电源系统软件设计 | 第43-53页 |
| 4.1 软件程序结构 | 第43-44页 |
| 4.2 软件流程设计 | 第44-45页 |
| 4.3 算法设计 | 第45-46页 |
| 4.4 软件实现 | 第46-51页 |
| 4.4.1 预热灯丝模块的软件实现 | 第47-48页 |
| 4.4.2 单片机的A/D模块的设计 | 第48-50页 |
| 4.4.3 增量式PID算法设计 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 EMI滤波器的设计 | 第53-69页 |
| 5.1 电磁兼容性简介 | 第53页 |
| 5.2 开关电源的原理 | 第53-55页 |
| 5.2.1 开关电源简述 | 第53-55页 |
| 5.2.2 开关电源的技术指标 | 第55页 |
| 5.3 电磁干扰产生的原因以及机理 | 第55-59页 |
| 5.3.1 电磁干扰的产生要素 | 第55-57页 |
| 5.3.2 开关电源产生电磁干扰的机理 | 第57-59页 |
| 5.4 开关电源中的EMI滤波器设计 | 第59-66页 |
| 5.4.1 技术指标 | 第59-62页 |
| 5.4.2 EMI滤波器的设计原则 | 第62-63页 |
| 5.4.3 滤波器简介 | 第63-65页 |
| 5.4.4 三端电容器 | 第65-66页 |
| 5.5 OrCAD仿真 | 第66-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 系统调试 | 第69-73页 |
| 6.1 整体系统调试 | 第69页 |
| 6.2 调试总体方案设计 | 第69-70页 |
| 6.3 系统调试结果波形图 | 第70-73页 |
| 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
